中古 NOVELLUS Gamma Express #293618750 を販売中
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ID: 293618750
ウェーハサイズ: 12"
Stripper / Asher, 12"
Wet process
OHT PIO Sensor
FOUP Carrier
(3) Carrier stages
GEM / CIM JGJ
Earth leakage breaker
Signal tower: Red / Yellow / Green / Blue
EMO:
Front
(2) Rears
Interconnect hardware: PM to pump 50 ft
Interconnect cables: TM to subpanel 100 ft
MDP Power box
External interlocks
MF: Gamma 2130 upgrade to gamma express
Etch chamber: Gamma 2130 / Position 1 to 6
RF Cable length: RFG to matcher, 30 ft
MKS GHW-50A Generator
Maximum power 5000 W + RF Match COMET 5 kW
HI-THLD (XPR type)
Standard chamber kit
Wafer lift mechanism: Fin
O-Rings: Fluorosilicon / TEV
Gate valve: Barrier seal door
Gas system type: (4) Gases
FOUP / ATM Robot / 3 FOUP Backend / YASKAWA MP2300i controller
Cassette ID: Hermos carrier ID
User interface options: Side and front monitor UI
Conditioning station
(2) Monitors
UPS
Gas no / MFC Model / Gas / MFC Size
1 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / O2 / 50 SLM
2 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / N2 / 7 SLM
3 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / 4%H2N2 / 20 SLM
4 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / CF4 / 50 SCCM
Does not include:
Dry pumps
Hard Disk Drive (HDD)
No monitor (Windows)
Lamp and lamp holder non-functional.
NOVELLUS Gamma Expressは、幅広い材料に薄膜の精密エッチングとアッシングを提供するために設計された最先端のエッチング/アッシング機です。多彩な基板に対応し、ドライエッチング、ウェットエッチング、マスクレスリソグラフィー、プラズマアッシングなど、多彩なプロセスを実現します。ガンマエクスプレスは、半導体からMEMSデバイスまで、精密で反復可能な薄膜処理を必要とするあらゆる業界に理想的な選択肢です。NOVELLUS Gamma Expressは、完全に調整可能なプロセスチャンバーを備えており、幅広い基板およびプロセスパラメータを使用できます。精密なエッチング/アッシングのために温度と圧力を安定させるためにチャンバーを加圧します。2x2mmから5x5mmまでの大きな基板サイズに対応し、プロセスのスループットを向上させます。このマシンには、高解像度のデジタルイメージセンサーがセットされており、プロセスのフィードバック制御を提供します。統合されたプロセスモジュールは、異なるプロセスステップに供給される電力を直接制御するための入力を備えており、エッチング/アッシングの深さと選択性を正確に制御できます。また、独自のイメージマトリックス計測システムを搭載し、エッチングとアッシングの結果をリアルタイムで正確に測定します。統合プロセスソフトウェアは、エッチング率、酸化物薄化率、選択性、均一性など、幅広い統計を提供します。Gamma Expressは非常に低い維持費および容易な整備可能性を特色にする非常に信頼できるエッチング/ashing機械です。最小限の時間で素早くセットアップできるように設計されており、必要最小限のオペレータトレーニングが必要です。機械はすべてのオートメーションの条件を満たし、生産ラインへの統合を可能にします。このユニットは強力なPLCによって駆動され、大型基板用の薬品を自動投与するなど、複数のプロセスを駆動できます。NOVELLUS Gamma Expressは、精密なエッチングとアッシング機能を提供する薄膜加工に最適なツールです。統合プロセスソフトウェアは、オペレータのエラーなしで、再現可能な結果を保証します。このマシンは、高いスループットを迅速かつ確実に提供しながら、正確な結果を提供します。ガンマエクスプレスは、高精度のエッチングとアッシング機能を備え、薄膜加工を必要とする多くの業界にとって不可欠なツールです。
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