中古 NOVELLUS Gamma Express #293618743 を販売中
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ID: 293618743
ウェーハサイズ: 12"
Stripper / Asher, 12"
MF: GAMMA 2130 Upgrade
Wet process
OHT PIO Sensor
FOUP
(3) Carrier stages
GEM / CIM JGJ
Earth leakage breaker
Signal tower: Red / Yellow / Green / Blue
EMO:
Front
(2) Rears
Interconnect hardware: PM to pump 50 ft
Cables: TM to sub panel, 100 ft
MDP Powerbox
External interlocks
Etcher chamber: Positions 1 to 6
RF Cable length: RFG to matcher 30 ft
MKS GHW-50A Generator
HI-THLD (XPR Type)
Standard chamber kit
Wafer lift mechanism: Fin
O-Rings: Fluorosilicon / TEV
Gate valve: Barrier seal door
Gas system type: (4) Gases
FOUP / ATM Robot / 3 FOUP Backend / YASKAWA MP2300i controller
Cassette ID: Hermos carrier ID
User interface options: Side and front monitor UI
Conditioning station
Monitor: Flat panel display touch screen type
Maximum power 5000 W + RF Match COMET 5 kW
UPS
Gas no / MFC Model / Gas / MFC Size
1 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / O2 / 50 SLM
2 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / N2 / 7 SLM
3 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / 4%H2N2 / 20 SLM
4 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / CF4 / 50 SCCM
Does not include:
Dry pumps
Hard Disk Drive (HDD)
No monitor (Windows)
Lamp and lamp holder non-functional.
NOVELLUS Gamma Expressは、高性能集積回路の製造に使用されるエッチャー/アッシャー装置です。アモルファスシリコン、ポリシリコン、タングステン、金、およびその他の導電性材料を含む多くの先進材料において、さまざまな高解像度マスク、接触層、金属トレースを製造することができます。マイクロエレクトロニクスの製造において重要なツールであり、高い信頼性で短時間で複雑なパターンを生成することができます。Gamma Expressの主なコンポーネントは、メインフレームと関連付けられた制御システムです。メインフレームには実際のエッチャー/アッシャーが搭載されており、高精度で制御可能なエッチングと蒸着ステップを実行できます。このシステムは、圧力、温度、ドウェル時間、エッチング環境などの幅広いプロセス条件で動作できます。また、複数のエッチングサイクルが可能であり、プロトタイピングのための幅広い材料を正確にエッチングすることができます。NOVELLUS Gamma Expressは、検査と検証のための正確で再現性のある画像を作成することもできます。エッチング前に欠陥を検出する非接触、非破壊技術を使用した高度な光学検査機能を備えています。これは、エッチング前に機能的な問題を検出し、エッチング処理の精度を保護するためにも使用できます。ガンマエクスプレスは、高速、高性能、高精度のために構築されています。非常に高い沈着率を実現し、所望の結果を数分で達成することができます。このシステムには複数のガス源があり、エッチング工程を優れた制御が可能です。NOVELLUS Gamma Expressは高度な制御機能を備えており、ウェットおよびドライプロセスガスの両方で動作するため、最高レベルのエッチング精度を実現します。ガンマエクスプレスはまた、人員や機器の保護のための高度な安全機能を備えています。これらの機能には、高度な監視、アラーム、および不規則性がある場合に有効になる組み込みの緊急停止が含まれます。要約すると、NOVELLUS Gamma Expressは、さまざまな材料で高精度で再現性の高いパターンを迅速かつ確実に生成できる高度なエッチャー/アッシャー装置です。高速かつ高精度に設計されており、人員や機器を保護するさまざまな安全機能を備えています。
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