中古 NOVELLUS Gamma 300 #132117 を販売中

NOVELLUS Gamma 300は、高度なフォトマスクのリソグラフィープロセスで使用するために設計されたシングルウェーハ電気化学エッチャー/アッシャーです。最大70WのRIE出力を可能にする強力なプラズマシステムを搭載し、ポリシリコン、酸化ケイ素、アルミニウムを最大2700 Angstroms深度までエッチングできます。ガンマ300では、制御グリッド反応イオンエッチング（CGRIE）や平面エッチング（PE）などの高度なエッチング技術を使用しています。CGRIEは、二重層エッチングと単一または複数のマスキングの組み合わせです。PEにより、高アスペクト比の垂直エッチングを正確に制御できます。どちらの技術も非常に高い速度で均一な高品質のパターンを生成します。NOVELLUS Gamma 300はまた、最小限のメンテナンスを必要とする特許取得済みのプロセスチャンバーを使用しており、エッチング深さをしっかりと再現しています。低圧、低温動作により、廃棄物の発生量を削減し、他のシングルウェーハエッチャーよりも少ないエネルギーを必要とします。ウェーハストッカー、ローダー、アンローダーモジュール、ロボットマニピュレータ、各種制御モジュールを利用しています。これらのモジュールはすべて使いやすいタッチスクリーンインターフェイスによって制御されており、オペレータはさまざまなエッチング処理を簡単にナビゲートできます。最大30ウェハ/時間の優れたスループットと完全に自動化されたエッチング処理により、Gamma 300はあらゆるエッチングおよびフォトマスクのリソグラフィ用途に最適です。