中古 NOVELLUS Gamma 2130 #9282119 を販売中

NOVELLUS Gamma 2130は、金属、セラミックス、石英、ガラスなど、さまざまな基板のエッチングとアッシング用に設計された高性能エッチャー/アッシャーです。ガンマ2130は、極低温冷却技術と組み合わされた高度な電子ビーム蒸発技術を利用して、優れた解像度、均一性、再現性を備えたエッチングおよび灰プロファイルを作成します。NOVELLUS Gamma 2130は、パワフルでコンピュータ制御された蒸着装置を備えており、サーマル・ドリフトを最小限に抑えて高速蒸着を実現します。統合されたコンピュータシステムは、温度、電力、圧力の変化を監視しながら、エッチングおよびアッシングプロセスの自動プログラミングと制御を可能にします。ガンマ2130は、高い再現性で柔軟なレシピ制御を可能にし、低熱ドリフトで基板全体に正確な投与量と均一な組成を可能にします。NOVELLUS Gamma 2130は密閉されたチャンバーで設計されており、安全性、プロセスの再現性、精度を向上させます。それは材料の一定した配達を保障するために各工程が独立して制御するので、エッチング/灰/沈着変数の精密な制御が可能です。密閉されたチャンバーはまた、最適なプロセス制御と改善された均一性を通じて強化されたエッチング/アッシュプロファイルのための様々な圧力でガスの広い範囲を許容することができます。Gamma 2130はマルチゾーン温度ユニットを備えた高負荷容量を備えています。これにより、大きなエッチング領域の均一性と熱制御が向上し、プロセスの再現性と精度が向上します。また、材料沈着率が高いため、プロセス時間が大幅に短縮されます。NOVELLUS Gamma 2130は、優れた性能と再現性を提供し、最適な地形制御のための非常に低い粒子生成を実現します。生産ラインや自動システムに簡単に統合できるように設計されており、迅速かつ一貫した基板準備が可能です。その高度な制御機械は、効率的で高精度のエッチングとアッシングプロセスを提供し、優れた品質のエッチングと灰の結果をもたらします。