中古 NOVELLUS Gamma 2130 #9260075 を販売中

NOVELLUS Gamma 2130は、高度なエッチング/アッシュツールで、さまざまなエッチング/アッシュアプリケーションに優れたプロセス能力と信頼性を提供します。CMOS製造プロセスのニーズに合わせて最適化され、優れた機能制御、プロセスの均一性、大量アプリケーションのサイクルタイムを提供します。ガンマ2130は、高アスペクト比の処理のための均一な4面壁プロファイルを提供する高度な3ビーム設計を備えています。これは、安定したエッチング/灰の性能のために精密なビーム配置を維持する独自の超高速干渉計を使用しています。このツールには、幅広いウエハサイズのプロセスチューニングのための調整可能なスリット開口部と、信頼性の高い裏面保護のための高度なドライエッチングプロセスも含まれています。NOVELLUS Gamma 2130は、最大24時間の無人運転を可能にする高スループットアーキテクチャを備えています。これは、工場内の他のマシンとシームレスに統合するための包括的なロボットハンドリングを利用しています。内蔵のセンサーとフィードバック制御ループにより、継続的なパフォーマンス監視と安定性の検証が可能です。システムには高度な診断技術も搭載されています。これは、プロセスパラメータとシステムパフォーマンスのリアルタイム監視を提供する強化されたコンソール表示を備えています。さらに、Gamma 2130は、改善されたレシピとモデル予測のための非均一な入力データを提供します。NOVELLUS Gamma 2130は、最も要求の厳しいCMOS製造プロセスの要求を満たすように設計された強力なエッチング/アッシュツールです。優れた機能制御、プロセスの均一性、サイクル時間の短縮を実現します。機械の高度な3ビーム設計と洗練された診断により、さまざまなエッチング/灰アプリケーションに対応する強力で信頼性の高いツールとなります。