中古 NOVELLUS Gamma 2130 #293820192 を販売中

NOVELLUSガンマ2130は、酸化物、窒化物、金属、ポリシリコンのプロセスシーケンスで動作するエッチングおよびアッシャー装置です。ドライエッチングやウェットエッチングなど、さまざまなエッチングプロセスを利用して、プロセスや材料除去の精密な制御を可能にします。アナログ、デジタル、ミックスドシグナルエレクトロニクスなど、高品質で高性能なデバイスの再現が可能です。Gamma 2130は、ウェーハや基板材料の加工に高精度で再現性のある登録を保証する高度な基板クランプユニットを採用しています。この機能により、基材を損傷することなく、エッチングおよびアッシングプロセスを正確に実行できます。NOVELLUS Gamma 2130では、追加の自動セットアップ機能と再現性チェックを使用して、一貫して高品質の結果を確実に生成します。この機械のプロセスチャンバーは、高精度のガス供給ツールを使用して操作され、酸化、窒化、金属エッチング、および化学機械研磨（CMP）プロセスを可能にするように設計されています。また、高度なプログラマブルエッチコントローラを備えており、プロセスを正確に制御し、薄膜および高精度デバイスジオメトリの製造を支援します。これらの機能に加えて、Gamma 2130はマルチエッチングを同時に行うことができ、複数のウェーハの高速処理を可能にします。この機能は、生産のスピードアップとダウンタイムの削減に役立ちます。このエッチング資産には、過熱検出や漏れ検出などのいくつかの安全機能も含まれており、機器や人員を潜在的に危険な状況から保護します。NOVELLUS Gamma 2130は高度なエッチャーとアッシャーモデルで、操作を正確に制御することができます。薄膜および高精度デバイスの高速、再現性、信頼性の高い生産を可能にするように設計されています。多種多様なエッチングプロセス、自動化されたセットアップ機能、安全機能を備えたGamma 2130は、エッチングおよびアッシングアプリケーションに信頼性の高いプラットフォームを提供します。