中古 NOVELLUS Gamma 2130 #293627326 を販売中
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ID: 293627326
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
PR Stripper, 12"
BROOKS TM V6 Fixload
KEYENCE Light curtain
YASKAWA Aligner
02-169208-00 EFEM Robot
(5) ENI GHW-50A-04 RF Rack generators
(2) Generator racks
UI Panel
RF Signal cable
Loadport
IU Panel
Robot station
Power rack
Process chamber:
YASKAWA Spindle
GXT type
(4) EPD
(5) CPMX-3000 RF Matchers
(5) 02-352103-00 RF Sources
(4) BROOKS MFC
Load/unload port
HDIS Pedestal
Fixed pedestal
Athena computer
UI Computer
MDC ISO Gate valve
NC Throttle valve
V-TEX Slit valve
MKS 10 Torr manometer
Gas box: O2, N2, H2N2, CF4
2003 vintage.
NOVELLUS Gamma 2130は、高生産性アプリケーション向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。独自のプロセス技術、設計、機能により、低コストで高性能なエッチングおよびアッシング操作を提供します。ガンマ2130は、高度な技術ノードプロセス開発とコスト効率の高い製造生産とメンテナンスの両方に最適です。NOVELLUS Gamma 2130はコンパクトなフットプリントで構築されているため、さまざまなアプリケーションのニーズやスループット要件に適しています。プロセスチャンバーは最大8つのウェーハを処理でき、レシピパラメータを完全に制御することでプロセスの再現性を実現します。タレットには1つの石英シャワーヘッドと1つの電子ビームシャワーヘッドが装備されており、幅広いプロセスオプションが可能です。システムは強力なプロセスコントローラによって駆動され、安定したプロセス環境を提供し、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。ガンマ2130には、高度なマルチパルス発電機が装備されています。この発電機はプロセス部屋の熱負荷を自動的に調節し、補償し、一貫したプロセスウィンドウを提供します。また、高度なプロセス制御機能を備え、最適なエッチングとアッシング条件を自動的に維持します。高度なプロセスコントローラは、エッチングやアッシング時間、圧力、温度などの安定したプロセスパラメータの確保にも役立ちます。NOVELLUS Gamma 2130は、幅広いプロセスケミストリーと互換性があり、シングルダイスまたはマルチワファーダイスで作業できます。さらに、ユニットは追加のチャンバーやその他のさまざまなオプションで簡単にアップグレードできるように設計されています。Gamma 2130はまた、すべてのプロセス機能のオンラインおよびオフライン監視および制御をサポートしています。全体として、NOVELLUS Gamma 2130は、さまざまなアプリケーションに効率的で高性能なエッチングおよびアッシングソリューションを提供します。堅牢なプロセス制御と精度により、開発プロセスと生産プロセスの両方に最適です。また、安定性、再現性、および高品質の表面仕上げで均一な部品を製造するための信頼性を提供します。
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