中古 NOVELLUS Gamma 2100 #9225554 を販売中

NOVELLUS Gamma 2100
ID: 9225554
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Ashers, 8" 2001 vintage.
NOVELLUS Gamma 2100は、半導体製造における薄膜の成膜用に特別に設計された高精度エッチャー/アッシャーです。薄く、受動的で、きれいな基板に使用され、様々な電気および光学デバイス用の多層コーティングを作成します。この機械は、必要な処理を行うために優れた精度のマルチヘッドエッチャー/アッシャーを使用しています。ガンマ2100は、作業エリアの可視性を高め、簡単なメンテナンスを可能にするオープンフレームデザインを備えています。エッチャー/アッシャーは、高度な高エネルギーのプラズマ源を有し、平均出力は最大200W、最大出力は1000Wです。エッチングされる材料の組成に応じて、エッチング速度は0。2nm/秒から6nm/秒までの範囲です。NOVELLUS Gamma 2100には、イオンソースコントロールというユニークな機能もあります。エッチング条件を最適化し、基板の均一性を向上させます。イオンビームの強度と焦点を調整し、最適なエッチング結果を得ることができます。また、エッチング処理を開始する前に既存のフィルムを取り外して基板を準備するオプションのプリクリーン機能も備えています。ガンマ2100は、信頼性と再現性に優れた薄膜成膜結果を提供するために、すぐに当然の評判を達成しています。フォトダイオード、コンデンサ、トランジスタ、電界効果トランジスタなど、幅広い用途に適しています。この機械は産業適用、また学術研究およびプロトタイピングのプロジェクトのために適しています。ハイエンド部品の生産に向けた効率的で費用対効果の高いステップです。
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