中古 NOVELLUS Gamma 2100 #9083213 を販売中

NOVELLUS Gamma 2100は、複数の精密エッチング用途向けに設計されたエッチャー/アッシャー装置です。高解像度イメージング、均一なエッチング、エッチング速度の厳密な制御が必要なアプリケーションに適しています。金属、誘電体、化合物半導体など様々な材料の加工が可能です。Gamma 2100は、低圧ウェーハ搬送ユニットを使用して、ウェーハ表面に正確で反復可能なパターンを維持します。また、ウェーハの位置決めとスキャンを制御する精密で再現性のあるステッピングモータを搭載し、パターン化されたフィルム層を整列および堆積する機能を備えています。NOVELLUS Gamma 2100は、直径300mmまでのウェーハを処理するように設計されており、2倍低減イメージングレンズとFaraday Cage Plateを使用して、イメージング性能を最大限に高めています。このツールは幅広いガスを使用しており、マスキング、エッチング、アッシング、ストリッピングなど、複数のプロセス手順を適用することができます。ガンマ2100は、より高い選択性、低い応力、およびエッチング制御のより良い深さの能力を備えた正確なエッチング制御を提供します。NOVELLUS Gamma 2100は、エッチング工程でウェーハを保護するために、特許取得済みの上向きの石英窓アッシャーも採用しています。アッシャーは、ウェーハ上の非常に大きな特徴だけでなく、小さな特徴の均一なエッチングを提供します。また、タイリングプロセスを使用してウェーハをより効率的にエッチングします。Gamma 2100は、NOVELLUSラインの高性能エッチングおよびアッシングケミストリーの優れた特性を最大限に活用するように設計されています。NOVELLUS Gamma 2100は、高性能マイクロ電子デバイスの重要部品に最適な資産です。処理の信頼性と一貫性を兼ね備え、最上位の薄膜層の成膜に優れたエッチングとアッシング性能を提供します。また、高度なオートメーションを必要とするさまざまなフォトリソグラフィープロセスに優れた均一性をもたらすように設計されています。