中古 NORDSON MARCH ProVIA #9374850 を販売中

NORDSON MARCH ProVIAは、半導体およびオプトエレクトロニクス加工用に設計されたドライエッチャー機です。ProVIAは、シリコンウェーハからガラスまで幅広い材料のディープエッチング、平面化、パターン化に使用されます。低粒子環境、真空環境、高い処理能力を備えています。NORDSON MARCH ProVIAは、信頼性が高く安定した高精度の機器です。それはさまざまな適用のために非常に形成可能で、調整可能なRFの電源および真空の部屋を含んでいます。システムの主なコンポーネントは、プロセスチャンバー、ロード/アンロードモジュール、RF誘導電源、付属ハードウェアおよびプロセス制御システムです。ProVIAのプロセスチャンバーには、40個のオープンポートと5個のサンプルセットが装備されています。平面化において優れた均一性を提供し、再現性のある結果を実現します。高度な等温温度制御ユニットは、800°Cまでの基板全体の温度制御を提供します。また、基板全体に長いプロセス時間と均一なエッチング率を提供する非均一ガス分配機があります。NORDSON MARCH ProVIAのRF電源は、負荷の大きいウエハを処理しても安定した状態を維持するように設計されています。その高度なRF制御ツールは、オーバーシュートやヒステリシスなどの複数のチューニングパラメータを提供し、プロセスの均一性とエッチング速度を優れた制御を提供します。アセットには高精度のモニター/許可モデルもあり、ユーザーはリアルタイムでプロセスパラメータを調整できます。ProVIAは、わずか30秒の短い処理サイクルで、迅速なターンアラウンドタイムを実現するよう設計されています。低コストのメンテナンスが特徴で、ほとんどのモジュールや部品を簡単に交換できます。それは有効で、人間工学的に友好的で、最低の操作スペースを要求します。高速な処理時間と複数のサンプルセットにより、高いスループットを必要とするアプリケーションに最適です。NORDSON MARCH ProVIAは、幅広い材料を通じてディープエッチング、平面化、パターニング用の包括的で信頼性の高いドライエッチソリューションです。それは優秀な均等性、長い処理時間および速い応答時間を提供し、それを半導体およびオプトエレクトロニック処理のための理想的な選択にします。