中古 NORDSON / MARCH MaxVIA #9397009 を販売中

NORDSON/MARCH MaxVIAは、半導体包装、マイクロエレクトロニクスおよび関連産業向けに設計された高度な自動エッチャーおよびアッシャー装置です。最先端のプラズマエッチングを使用して、薄膜基板に精密な機能を生成します。MARCH MaxVIAは、Nordsomの有名なMaxFlexプラズマシステムの拡張版で、エッチング速度と優れた機能精度を提供します。NORDSON MaxVIAは、生産用に設計された高精度のプラズマエッチングユニットです。フォトレジスト、SiO2、 Si3N4、クォーツなど、さまざまな素材から複数の層をエッチングすることができます。その先進的なプラズマ源は、2つのフラットパネルプラズマ源で構成されており、高スループットおよび高エッチング率の微細構造および回路に制御可能で集中したディープエッチングプラズマを提供します。このマシンには、ハイエッチングの均一性と再現性を保証する高度なフィードバック制御ツールなど、いくつかのインテリジェントな設計機能が含まれています。光学式スキャン機能を内蔵しており、シーケンス間のずれを大幅に低減し、正確なフィーチャー登録とパターン精度を可能にします。MaxVIAはまた、静的清浄度センサーを備えた完全な統合されたステンレス製の真空チャンバー、および電気機械インターロックを備えた強力な真空ロックなどの高度な安全システムを備えています。これにより、オペレータの安全性が確保され、クリーンな汚染のない基板処理環境が提供されます。NORDSON/MARCH MaxVIAは、手動モードまたは全自動モードで操作でき、生産ニーズに合わせて最適な処理構成を選択できます。また、オプションのロボットプリアライメントアセットも備えており、複数の基板をモデルにロードして、ソースとターゲットの位置に応じて正確な配置を行うことができます。MARCH MaxVIAは、マイクロエレクトロニクスおよび半導体包装業界における高精度の構造、機能、回路の製造に必要な高度なエッチングおよびアッシングシステムのための強力で信頼性の高い柔軟なソリューションです。統合された安全システム、自動制御機能、人間工学に基づいた設計により、効率的で安全な生産環境を提供します。