中古 NORDSON / MARCH MaxVIA #9314778 を販売中
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ID: 9314778
ヴィンテージ: 2017
Plasma treatment systems
(15) Processing cells
Control system: PLC, Touch screen interface
RF Power: 10kW
2017 vintage.
NORDSON/MARCH MaxVIAは、ウェーハや基板の高容量、精密エッチング、アッシングに使用される高度な自動エッチャー/アッシャーです。MARCH MaxVIAは、さまざまな材料を処理しながら、迅速かつ一貫した結果を提供するように設計されています。プロセスは、NORDSON MaxVIAのユーザーフレンドリーな転送ステーションにウェーハをロードすることから始まります。MaxVIAは、ウェハハンドリングシステム、アンチバウンスサスペンション、ウェハセンタリングユニット、および安全な動作と環境保護を提供するように設計された不活性ガスパージなど、いくつかの安全機能を備えています。NORDSON/MARCH MaxVIAは2つの独立した電源を備えており、それぞれ最大400ワットの電力を供給できます。これにより、理想的なプロセス温度の達成が可能になり、各プロセスのバッチ全体で一貫した結果が得られます。エッチャー/アッシャーは、高度なプロセス制御システムで設計されており、温度、圧力、ガス流量などのプログラムサイクル時間とプロセスパラメータを生成するために使用できます。エンジニアは、各プロセスのレシピをカスタマイズし、エッチングとアッシング速度、温度、ガス混合物、およびその他のパラメータを設定して、目的の結果を作成できます。MARCH MaxVIAには、2つの独立して制御されたプロセスチャンバーもあり、ウェーハの同時エッチングとアッシングを容易にします。NORDSON MaxVIAの精密かつ再現性のある結果は、メンテナンスコストの低さに加えて、大量のエッチングおよびアッシング用途に最適なソリューションです。オペレータはまた、PCやスマートフォンを介してリモートでプロセスチャンバーにアクセスすることができ、ユーザーは任意の場所からレシピを監視および調整することができます。全体として、MaxVIAは強力でありながらユーザーフレンドリーなEtcher/Asherは、さまざまなアプリケーションに最適です。その安全機能は、安全な動作環境を確保するのに役立ちます、そのプログラム可能なパラメータと複数のチャンバーは、その効率と精度をさらに向上させながら、。
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