中古 NORDSON MARCH FlexTRAK #9299708 を販売中

NORDSON MARCH FlexTRAKは、新しいエッチング、洗浄、洗浄プロセスの研究、開発、およびテスト用に設計された高度なエッチング、またはエッチング/洗浄プラットフォームです。エッチング深度、エッチング時間、エッチング汚染、エッチング欠陥、エッチング速度を正確に調整および制御するために、さまざまなプロセス化学物質を処理することができます。MARCH FlexTRAKは、エッチングパラメータ（エッチング加圧、ウェーハ予熱システム、プラズマガス流量、電極への電力供給、調整可能なRFワット数、および調整可能なエッチング溶液量など）を制御します。NORDSON MARCH FlexTRAKプラットフォームを使用して、アプリケーション固有のレシピを作成し、すべてのパラメータを正確に制御して最適なエッチング結果を得ることができます。FlexTRAKは、革新的で使いやすい設計でさまざまなプロセス化学製品をサポートしています。エッチングプロセスの化学物質は完全にモジュール化されているため、ユーザーはエッチングプロセス中に化学物質を追加または削除できます。これは、ユーザーが簡単に異なる化学物質を切り替えることができるので、さまざまなプロセスレシピを開発するときに特に便利です。NORDSON MARCH FlexTRAKは、シングルチャンバー真空エッチャー/ワッシャー、多数の統合プロセスチャンバー、およびエッチング、クリーニング、乾燥プロセス全体を制御するデジタルタッチスクリーンコントロールパネルで構成されています。エッチングチャンバーは高周波電源で駆動され、エッチング速度とエッチング深さを正確に制御できます。エッチングチャンバーには、基板表面に均一なエッチングを確保するために、内蔵の水分センサーも内蔵しています。統合されたプロセスチャンバーは、新しいレシピを開発し、クリーニングとエッチング後のプロセスを可能にし、最適化されたエッチング環境を提供するために、プロセス化学物質の調整可能な組み合わせを提供します。内蔵のセンサーと制御システムは、最適なエッチングプロファイルを保証します。最後に、FlexTRAKは、すべてのエッチングパラメータを管理する強力なユーザーインターフェイスを備えています。コントロールパネルは、エッチングの深さ、エッチング時間、温度、ガスの流れ、およびRFエネルギーを含むすべてのエッチングパラメータを調整することができます。また、高度なモデリングとデータ収集機能を備えており、独自のエッチングプロセスを正確に開発できます。さらに、MARCHソフトウェアスイートは、エッチングおよびクリーニングプロセスを単一のアプリケーション内に簡単に統合し、プロセス開発を合理化します。NORDSON MARCH FlexTRAKは、ユーザーフレンドリーなコントロール、幅広いプロセスケミストリー、調整可能なエッチングパラメータ、およびエッチングプロセスを正確に制御するための一貫したセンサーと診断を提供する強力なエッチング、クリーニング、洗浄プラットフォームです。使いやすいコントロールと強力な機能により、さまざまなエッチング用途に最適なプラットフォームです。