中古 NORDSON MARCH FlexTRAK #293798779 を販売中

ID: 293798779
ヴィンテージ: 2014
Plasma cleaner 2014 vintage.
NORDSON MARCH FlexTRAKは、高速ウェハ処理用に設計された最大性能エッチャー/アッシャーです。FlexTRAKの設計により、設置面積が小さく、所有コストも低くなります。特許取得済みのQ-2技術を活用し、優れた性能を発揮します。この装置は35°C〜150°Cの固定温度範囲で設計されており、幅広いウエハ用途に適しています。このシステムは、ガス1またはガス混合制御も提供しており、さまざまなエッチング温度およびアッシング温度での処理に柔軟性を提供します。NORDSON MARCH FlexTRAKは、自家製の真空ユニットで設計されており、社内の真空ポンプなしで動作することができます。これにより、より効率的なプロセスを実現し、処理時間と消費電力を削減できます。また、排ガス機能も備えており、過剰なガスや粒子を安全に排出することができます。FlexTRAKは取り外し可能なカバーで構成されており、異なるエッチングおよびアッシング操作のパラメータを調整するために、内部のガスパネルとアイソレータに素早くアクセスできます。可変スピードコンベアツールは、幅広いプロセス速度を可能にし、低および大容量のアプリケーションに適しています。NORDSON MARCH FlexTRAKはグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)も備えており、設定の作成とストレージ、高度な配管と診断に簡単にアクセスできます。GUIはまた、エッチングとアッシング速度、ウェハサイズ、およびその他のアプリケーション固有の設定などのプロセスパラメータを設定する手段も提供します。FlexTRAKは、ハイエンドのウェーハ加工にとって費用対効果の高いソリューションであり、その設計は小規模および大規模生産での使用に最適です。可変速度コンベアアセットと高度なGUIにより、操作が容易なモデルで最大限の制御と柔軟性を提供します。また、装置を簡単に拡張して、将来のニーズやプロセスのアプリケーションに対応することができます。
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