中古 NORDSON / MARCH AP-600 #9182457 を販売中

NORDSON/MARCH AP-600は、生産性とプロセス精度を最高レベルに引き出すように設計された、コンパクトで高品質のエッチングおよびアッシング装置です。直感的な設計により、異なるプロセス工程間での高速な切り替えが可能で、幅広いウェーハ処理要件に最適です。MARCH AP-600の高度で柔軟な設計により、集積回路の製造から医療機器の研究開発まで、幅広いエッチングおよびアッシング用途に適しています。NORDSON AP-600は最高レベルの精度とエンジニアリングで設計されており、一貫した反復可能な結果を達成することができます。このシステムには、高度で高解像度のユーザーインターフェイスが装備されており、プロセスを通じてオペレータを迅速に誘導するだけでなく、高エッチング率と均一な粒子分布を確保するための基板を加熱します。さらに、このユニットはプログラマブルランピングスピードマシンを備えているため、エッチング速度を変化させて、時間や精度を犠牲にすることなく最適な結果を得ることができます。AP-600はまた、統合されたダイナミックレベリングコントロール（DLC）機能を備えています。これにより、ユーザーはパーティクルフローと分布を独自に制御し、微細なラインパターンで完璧なエッチングを作成できます。また、NORDSON/MARCH AP-600の設定により、下流のプラテンの傾きをプログラムすることができ、より正確なマテリアルコントロールと、異なるプロセスステップを実行する際の柔軟性を実現するデュアルチャンバーエッチング構成を可能にします。さらに、このツールには、金属エッチングおよびアッシング機能、および半自動基板ローディングが装備されています。MARCH AP-600は、エッチング用とアッシング用の2つのプラズマ源で設計されており、2つの異なるプロセスを同時に実行できます。プラズマ源は、オンボードガスフィードバック資産を介して自動的に調整され、各アプリケーションに最適なプラズマ組成が保証されます。このモデルには、エッチングと副産物のアッシングのための真空排気装置と、真空ラインに統合された高精度のデジタルマスフローコントローラが装備されています。NORDSON AP-600は、強力で費用対効果が高く、信頼性の高いエッチングおよびアッシング装置で、ユーザーは正確で一貫した結果を得ることができます。このシステムは、MARCHチームの優れたカスタマーサービスとサポートに裏打ちされており、ユーザーに安心と付加価値を提供します。