中古 NORDSON / MARCH AP-600/300 #9401924 を販売中

MARCH AP-600/300は、半導体業界で使用されるエッチャー/アッシャーです。超高精度エッチングとアッシングプロセスを必要とする部品の製造用に設計されています。このエッチャー/アッシャーは、最大10-6 torrの真空機能を備えており、ユーザーは汚染や欠陥のリスクを最小限に抑えて基板に材料を正確に沈殿させることができます。エッチャー/アッシャーには、600〜300kHzの周波数を持つデュアル周波数プラズマジェネレータも搭載しており、最大15KWの持続電力を持つ高イオン密度プロセスを実現します。NORDSON AP-600/300にはデジタルタッチスクリーンコントローラが装備されており、エッチャー/アッシャーの機能を使いやすく直感的に制御できます。ユーザーは、CF4、 CF2Cl2、 LASMA、 N2O、 O2、 H2など、必要なエッチングプロセスの種類を選択でき、システムは各プロセスの電源と圧力設定を自動的に調整します。さまざまなパラメータ設定をプログラムすることができ、エッチングレートやその他のプロセス変数を正確に制御できます。NORDSON/MARCH AP-600/300が提供する精密エッチングとアッシングは、高精度のV溝、相互接続、ゲートエッチング、貫通穴などの半導体部品の製造に最適です。エッチング/アッシング処理は、ポリシリコン、アルミニウム、SiO2、 Si3N4、ボンディング層など、幅広い材料のX-Y平面で正確にオフセットできます。さらに、エッチャー/アッシャーは、ユニバーサルプログラミングテンプレートのセット、さまざまなプロセス固有のサンプルトレイ、および多数の自動ローディングおよびアンロードアームなど、さまざまなアクセサリと互換性があります。また、エッチャー/アッシャーは歪みのないイメージングシステムを備えており、処理される基板の明確で詳細なビューをユーザーに提供します。全体として、MARCH AP-600/300は精密半導体生産アプリケーション向けの優れたエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、幅広いプロセス設定、自動ロード/アンロード・アーム、歪みのないイメージングシステムを備えており、最も複雑なエッチングおよびアッシング要件にも対応できるように設計されています。