中古 NORDSON MARCH AP-300 #293652419 を販売中

NORDSON MARCH AP-300 Etcher/Asherは、Si、 SiO2、 SiNなどの半導体ウェーハ、MEMS、その他の基板材料をエッチングおよびアッシングするための効率的で高速なベンチトップ蒸気エッチング/アッシュ装置です。MARCH NORDSON MARCH AP 300エッチャー/アッシャーは、オフサイトの研究および試作サンプルの処理に理想的な機械です。これは、ウェットエッチングの汎用性とオーブンエッチング/灰システムの効率を兼ね備えています。MARCH AP-300 Etcher/Asherは、NORDSON MARCH E100プラットフォーム上に構築されており、ユニットが提供するさまざまなプロセスのため、研究開発組織に最適です。MARCH AP 300は、最大29。5 インチHgの真空圧力を生成することができるステンレス製のベルジャーエンクロージャを使用して、直径200mmまでのサンプルを処理できます。これにより、ロードロックやベーキングステーションを必要とせずに、サンプルの均一で反復可能なエッチングとアッシングが可能になります。シングルサイクルプロセスコントローラを使用して、チャンバーの温度と圧力を制御します。直感的なソフトウェアインターフェイスを備えたコントローラは、最新のマイクロプロセッサ技術を使用しており、カスタマイズ可能で繰り返し可能なプロセスを可能にします。MARCH NORDSON MARCH AP-300 Etcher/Asherには、オペレータインターロック、緊急遮断、ボンドブレーカ、真空監視などの安全機能も装備されています。効率的なアッシングのために、MARCH NORDSON MARCH AP 300はフラッピングゲートバルブを使用しており、前面と背面の灰を素早く簡単に切り替えることができます。統合されたウェーハキャリアとチャックとレベルサポートマシンは、一貫した結果と再現性のための安全なエッチング環境を保証します。MARCH AP-300には、さまざまなレシピ編集オプションが付属しています。事前に定義された位相パラメータを使用して、圧力、時間、温度、流量を設定してプロセスレシピを作成できるように設計されています。これは、ユーザーが要求に応じてプロセスを迅速かつ正確に調整できることを意味します。MARCH AP 300には、特許取得済みのNORDSON MARCH無機酸化物除去（M-IOR）ツールも付属しています。この資産は、湿潤層を堆積させるのに時間を費やすことなく、完全な酸化物の接着とエッチングを保証します。全体として、NORDSON MARCH AP-300 Etcher/Asherは、半導体、MEMS、およびその他の基板処理において比類のない精度と一貫性を提供する高度なベンチトップエッチングおよびアッシングモデルです。その高度にカスタマイズ可能で反復可能なプロセスは、研究開発組織にとって理想的な装置となります。