中古 NORDSON MARCH AP-1000 #9196956 を販売中

NORDSON MARCH AP-1000は、さまざまな半導体エッチングプロセス用に設計されたエッチングマシンです。これは、統合された真空機器とユーザーがエンドポイント検出や基板温度などのパラメータを選択することができる制御システムを備えています。エッチング処理は、エッチングする基板を高温に加熱し、反応性のある化学ガスにさらされる石英で覆われたチャンバーで行われます。NORDSON MARCH AP 1000は、高効率の低圧蒸着ユニットで、正確で均一な結果を得ることができます。この機械はまた急速な冷却および均一エッチングのプロフィールを提供し、沈殿、アニーリングおよび反応イオンエッチングのような高度の適用にとって理想的です。さらに、エッチャーには、最大6つの300 mmウェーハの能力を持つプロセスチャンバーと、クーラントおよびガス流量ツールが含まれています。AP-1000には、基板の温度を制御するための温度制御アセットも組み込まれています。AP 1000のグラフィカルユーザーインターフェイスは直感的で、エッチング処理を簡単に制御できます。チャンバーコントロールインターフェイスを使用すると、圧力、温度、ガスの流れ、バイアス材料の組成、ガス噴射速度および持続時間などのプロセスパラメータをカスタマイズできます。ChamberViewソフトウェアは、エッチング処理中の基板の前面図と下部図をリアルタイムで視覚化します。安全性の観点から、NORDSON MARCH AP-1000は、メタルハロゲン化物などの有害ガスや反応製品がプロセスチャンバーから自動的に除去されることを保証する統合空気パージモデルを備えています。エッチャーには、過熱を防ぐための無料の冷却装置と緊急電源遮断スイッチが付属しています。さらに、NORDSON MARCH AP 1000には、プロセスの中断を防ぐモジュールインターロックシステムが内蔵されています。全体として、AP-1000エッチャーは、さまざまな半導体エッチングプロセスのための信頼性が高く、使いやすいプラットフォームを提供しています。特許出願中のチャンバーユニットは、複数のウエハ径にわたって均一な結果を保証し、高効率の蒸着機は迅速な冷却速度と精密なエッチングプロファイルを提供します。AP 1000には、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスと、安全で効率的な操作を保証する統合安全システムも装備されています。