中古 NORDSON MARCH AP-1000 #9156324 を販売中
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販売された
ID: 9156324
ヴィンテージ: 2012
Plasma cleaning system
PLC Controller with touch screen
Graphical interface
Real time process representation
Part carriers either direct or downstream plasma mode
Automatic impedance RF generator: 13.56 MHz
Proprietary software control system
Production data for statistical process control
Effective footprint:
Clearances:
Right, Left: 153 mm (6 in)
Front: 680 mm (26.8 in)
Back: 483 mm (19 in) Minimum
Chamber:
Dimensions: 457W x 610D x 457H mm (18W x 24D x 18H in)
Volume: (127) Liters (7776 in³)
Variable electrode configurations:
Direct
Downstream
HTP Wide
HTP Narrow
(14) Shelf positions
Shelf pitch:
25.4mm (1 in) for 600W
50.8mm (2 in) for 1000 W
Electrodes:
Powered electrode dimensions :
349W x 425D mm (13.74 W x 16.73D in)
Ground (perf.) electrode dimensions:
384W x 425D mm (15.1W x 16.73D in)
Floating shelf dimensions:
349W x 425D mm (13.74W x 16.73D in)
RF Power:
Standard wattage: 600W
Frequency: 13.56 MHz
Gas control:
(4) MFCs
Remote interface:
Software controls:
Plasma link
Process link
Vacuum pump:
Standard vacuum pump:
50 CFM (50 / 60Hz)
Wet pump with oil mist eliminator
Facilities:
Power supply
220V, 25A, 50/60 Hz, 3 phase, 8AWG, (4) Wires
380V, 25A, 50/60Hz, 3 phase, 8 AWG, (5) Wires
Process gas fitting size and type:
OD Swagelok tube: 0.25-in
Purge gas fitting size and type:
OD Swagelok tube: 0.25-in
Pneumatic valves fitting size and type:
OD Swagelok tube: 0.25-in
Purity:
Industrial grade nitrogen or CDA
Industrial grade or better
Pressure and flow:
Regulated from 0.69bar (10PSI) min. to 1bar (15PSI) max
Regulated from 2bar (30PSI) min. to 5.5bar (80PSI) max
Regulated from 3.4bar (50PSI) min. to 5.5bar (80PSI) max
CDA
Oil free
Dewpoint: <=7°C /45°F
Particulate size: <5 Micron
Exhaust:
OD Pipe flange: 38mm (1.5 in.)
Compliance:
SEMI: S2, S8, E10
International: CE Marked
Ancillary equipment:
Gas generators
Nitrogen
Hydrogen
Facilities modules:
Oil filtration
Chiller
Scrubber
Currently installed
2012 vintage.
Nordsom March NORDSON MARCH AP-1000は、高スループット材料処理用に設計された精密エッチャー/アッシャーです。NORDSON MARCH AP 1000は、物理蒸着（PVD）技術を利用して、材料を高精度で基板表面に堆積させます。このプロセスは、回路パターンの作成、保護金属化層の堆積、およびその他のさまざまな製造技術の提供に最適です。AP-1000は、セラミックス、電気めっき基材、石英、半導体ウェーハ、その他様々な基板に対応可能です。AP 1000は、堆積プロセス用の密閉チャンバーと、有害ガスを排出するためのオプションのステンレス製の通気口を備えています。密閉されたチャンバーは、堆積プロセスがシールドされることを保証し、プロセス圧力を制御し、汚染を回避する効果的な手段を提供します。チャンバーには、調整可能な圧力流量制御バルブと調整可能な温度および圧力センサーが装備されています。NORDSON MARCH AP-1000には、フライス加工、ワイヤーフィーダ、抵抗エッチング装置など、エッチングとアッシングのためのさまざまなツールが装備されています。Nordsom March NORDSON MARCH AP 1000は、最高の精密エッチングとアッシング技術を提供します。このシステムは、自動化、再現性、再現性に優れたハイレート蒸着プロセス向けに設計されており、パワフルで人間工学に基づいた制御システムによって最適化されています。このソフトウェアは、ユーザーフレンドリーなメニューとプロセスパラメータのグラフィカル表示で、多くのプロセスの簡単なプログラミングを提供します。ソフトウェアはまた、複雑な堆積レシピを設定するための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。Nordsom March AP-1000は、さまざまな基板をサポートすることができ、特定のアプリケーションのニーズに合わせてカスタマイズすることができます。密閉されたチャンバー設計により、安全で制御された蒸着プロセスが保証され、調整可能な圧力流量制御バルブは、精度と再現性を維持するのに役立ちます。さらに、AP 1000にはエッチングやアッシュ処理を行うためのさまざまなツールが搭載されており、パワフルでありながらアクセスしやすい制御システムにより、初心者でも簡単に使用できます。Nordsom March NORDSON MARCH AP-1000は、精密な材料加工に最適なツールです。
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