中古 NORDSON MARCH AP-1000 #293771112 を販売中

NORDSON MARCH AP-1000プラズマアッシャーは、NORDSON MARCHが提供するPlasmatech™エッチング装置で、さまざまな基板材料の高スループット生産用に設計されています。NORDSON MARCH AP 1000は、電子サイクロトロン共鳴（ECR）と誘導結合プラズマ（ICP）源の両方を備えた独自のプラズマ減圧（PRP）チャンバーをベースとしたシングルチャンバーシステムです。AP-1000は、可能な限り最高の再現性と究極の精度で様々な材料をエッチングすることができます。このユニットには、多数の高度な技術が搭載されており、最大アスペクト比10：1の直径12インチ（304。8mm）の基板処理が可能です。AP 1000は、エッチング深度とフィーチャーサイズが約1µmと非常に均一になります。このマシンには、自動チューニングツール、可変チャンバ温度制御アセット、およびWindowsベースのGUIを介してナビゲートされるコンピュータなど、幅広い機能と機能が搭載されています。さらに、NORDSON MARCH AP-1000は、より高い蒸着周波数を誇り、エッチング速度を向上させ、エッチングの均一性を向上させます。これは、他のほとんどのソースよりも広いフットプリントを持つ高周波ECRソースを使用することによって可能になります。さらに、エッチングレシピの自動校正や、サンプルヒーターやレジストコートマスクなどのさまざまなオプションアクセサリーも搭載しています。NORDSON MARCH AP 1000は、研究および高生産環境の両方でのアプリケーションに最適な、非常によく設計された信頼性の高い機器です。