中古 NORDSON MARCH AP-1000 #293753808 を販売中

Normson March NORDSON MARCH AP-1000は、高純度半導体部品および工業製品の製造に使用されるエッチングおよびアッシングシステムです。システムは2つの相互接続されたチャンバーで構成されています。プラズマエッチングチャンバーと急速な熱灰化チャンバー。プラズマエッチングチャンバーは、高エネルギー電子ビームを使用して、エッチング処理のための均一な熱プラズマ環境を生成します。この強力なイオンフラックスは、プロセス基板上の酸化物層やその他の不純物を迅速かつ正確に除去するのに役立ち、同時にイオン損傷や担保表面の損傷を最小限に抑えます。このチャンバーは2Mbarの真空定格を持ち、48V DC電源で駆動されます。第2のチャンバーである急速熱灰化チャンバーは、プロパン空気混合物を使用して基板を急速に加熱する高温炉であり、プラズマ後の処理を維持する層有機汚染物質の迅速かつ効率的な熱分解を可能にします。温度は25Cから1400Cに調節可能であり、部屋は2000°C。の上の温度に達することができます。さらに、このチャンバーは、酸素と窒素の大気のアッシングだけでなく、揮発性残基の除去のためのアルゴンのアッシングを可能にします。さらに、Normson March NORDSON MARCH AP 1000は、外部で開くことのできるサイドチャンバーを備えているため、ユーザーはより高いスループットを得るために基板カセットに直接アクセスできます。基質の急速で、容易な交換を可能にします。専用の転送ポートにより、外部ツールへのアクセスが可能です。これらの機能はすべて、産業および半導体製造で使用される高性能エッチングおよびアッシングプロセスに理想的な環境を作り出し、安全で効率的なユーザーエクスペリエンスを提供します。Normson March AP-1000は、プレミアム製品の生産をシンプルで便利にします。