中古 NORDSON MARCH AP-1000 #293743500 を販売中
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NORDSON MARCH AP-1000は、高精度の表面処理を必要とする半導体、マイクロエレクトロニクス、その他の産業における精密表面処理およびエッチング処理用に設計された先進的なプラズマエッチャー/アッシャーです。この最先端の機器は、プロセスの効率、信頼性、および制御を高める革新的な機能と機能の範囲を提供します。NORDSON MARCH AP 1000は、先進的なプラズマ技術を使用して、プラズマエッチングおよびアッシング用途において比類のない性能を提供します。プラズマエッチング工程では、高エネルギーのプラズマ中に反応性ガスを使用して基板表面から材料を除去します。これにより、精密なエッチングパターンと基板上の深いアスペクト比の特徴が得られ、複雑な表面変更を必要とする幅広い用途に最適です。AP-1000の主な特徴の1つは、プラズマ密度と均一性を正確に制御する高性能RF電源です。この装置には、高度なRFマッチングネットワークとインピーダンスチューニング機能が組み込まれており、一貫した処理結果を得るためにプラズマチャンバーへの最適な電力供給を保証します。この高性能な電源供給システムにより、AP 1000は、幅広い基材およびサイズで高いエッチング速度、均一性、再現性を実現します。NORDSON MARCH AP-1000には、エッチングおよびアッシングプロセスで使用されるプロセスガスを正確に制御できる最先端のガス供給ユニットが装備されています。このマシンは、マスフローコントローラ、圧力レギュレータ、およびクイックコネクト継手を備えた複数のガス入口を備えているため、プロセスパラメータの簡単なセットアップと微調整が可能です。ガス供給ツールは、正確で安定したガス流量を提供し、均一なエッチングとアッシングの結果を保証し、プロセスの変動を最小限に抑えるように設計されています。NORDSON MARCH AP 1000のもう1つの重要な特徴は、プロセス性能と効率を最大限に高めるために最適化された高度なチャンバー設計です。このアセットは、高真空チャンバを備えており、正確な温度制御が可能で、安定したプラズマ条件と一貫した処理結果が得られます。チャンバー設計には、高度なガス分配システム、RFバイアス機能、基板加熱オプションも装備しており、プロセス開発と最適化の柔軟性を実現しています。AP-1000はユーザーフレンドリーなインターフェースとソフトウェア制御モデルを備えており、オペレータはエッチングとアッシングのプロセスを簡単にプログラム、監視、最適化できます。この装置は、直感的なナビゲーションメニュー、リアルタイムプロセス監視機能、およびプロセスのトレーサビリティと分析のためのデータロギング機能を備えたタッチスクリーンコントロールパネルを備えています。ソフトウェア制御システムはまた、高度なレシピ管理ツールを提供し、異なるシステム間のレシピ開発、最適化、転送を容易にすることができます。結論として、AP 1000は、精密表面処理用途において比類のない性能、信頼性、および制御を提供する最先端のプラズマエッチャー/アッシャーユニットです。NORDSON MARCH AP-1000は、高度なプラズマ技術、高性能RF電源、洗練されたガス供給機、最適化されたチャンバ設計、およびユーザーフレンドリーなソフトウェアコントロールツールにより、高精度表面修正機能を必要とする幅広い業界向けの汎用性と効率的なソリューションです。
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