中古 NORDSON MARCH AP-1000 #293616503 を販売中

NORDON MARCH NORDSON MARCH AP-1000は、GaAs、 InP、 Si、およびその他のIII-V材料を含む様々な基板上の高スループットと高分解能のために設計された先進的なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、低圧反応イオンエッチングプロセスを使用して、微細なラインとレイヤーによる極めて精密なエッチングを可能にします。NORDSON MARCH AP 1000は、電子サイクロトロン共鳴エッチング、直流エッチング、高バイアスエッチングなどの複数の技術を活用して、優れたエッチング速度、優れたエッチング精度、エッチング形状の制御を実現しています。AP-1000アーキテクチャには、中密度プラズマエッチングと大面積エッチングを含む2つの同時エッチング処理を可能にするデュアル周波数ジェネレータが含まれています。高度なウエハモーターアセンブリは、生産に優れた均一性と再現性を提供します。このユニットには、安全なサンプルの積載を可能にするロードロックと、チャンバーをクリーニングするための遠隔プラズマ源が装備されています。AP 1000独自の制御ソフトウェアにより、最適な結果を得るためのエッチングパラメータをカスタマイズできます。このソフトウェアインターフェイスを使用すると、マイクロ波の周波数、バイアス電圧、プロセス圧力などのエッチングレシピパラメータをプログラムし、最適なパフォーマンスを実現できます。さらに、このマシンには、飛行時間の質量分析や光放射分光法などの高度なエンドポイント検出方法や、プロセスの持続可能性を確保するためのその他の高度なツールが装備されています。この汎用性の高いツールは、幅広いエッチングおよびアッシング用途に優れた性能を提供します。エッチング機能は、最大30：1のアスペクト比と100nmまでの膜厚を持つことができます。エッチング結果の精度と精度は市場で最も高く、幅広いデバイスのサイズと形状において優れた結果を提供します。さらに、NORDSON MARCH AP-1000の高スループット機能により、大量生産に最適です。