中古 NEXSO NV10 #9130696 を販売中

NEXSO NV10はエッチャー/アッシャーで、エッチャーとアッシャーの機能を1台のマシンで組み合わせた装置です。マイクロエレクトロニクス集積回路（IC）などの微細部品の製造に使用されるように設計されています。NV10は、スタンドアロンシステムとして、またはPVDユニットと統合されたエッチングおよびプロセス分析を介して、片側と両側の自動ウェットエッチングおよびアッシング装置です。これは、エッチャー/アッシャー、トレイ、およびコンポーネントのラックの3つの主要なコンポーネントで構成されています。この機械は、100 mm/分までの速度で様々な基板をエッチングおよびアッシングすることができます。NEXSO NV10は、最大エッチング深さ1 µm、最小エッチング時間5分の精密なプロセス制御を提供するように設計されています。また、プログラミングと手動の両方のアッシングを可能にする動的アッシングツールを備えています。熱、化学、および光学センサーは、すべてのコンポーネントの均一なエッチングとアッシングを保証します。このマシンには、Windowsベースの運用資産が装備されており、オペレータは複数のエッチングレシピをプログラムし、リアルタイムのプロセスデータを監視しながらプロセスパラメータを調整することができます。また、真空断熱機構を強化し、熱損失の低減に貢献します。NV10は、単層と二層の両方のエッチングに使用できるコンパクトで汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。さらに、他のプロセスツールとの統合と、さまざまなエッチングレシピをプログラムできるようにするために、イーサネット接続が提供されています。全体として、NEXSO NV10は強力で効率的なエッチャー/アッシャーであり、非常に正確で、高品質のICプロトタイプとコンポーネントを一貫して製造するために使用できます。自動化されたプロセスと精密な制御の組み合わせにより、半導体やその他のマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に最適です。他のツールと統合し、詳細なプロセスデータを提供することができるため、商用および産業用アプリケーションにとってさらに魅力的です。