中古 NEXSO NSC7000 #9153448 を販売中
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ID: 9153448
PECVD Systems
Electric power: 208VAC/100A
Air: 75±5 Psig 3/8"
PCWS/PCWR: 4 l/m (Max Flow), 4Kg/cm2, 3/8"
Exhaust: 60 CFM
Cassette chamber: Sensor
Loadlock chamber: Robot (Brooks PRI-MTR5)
Process chamber: RF power TC heater (6061T6 Aluminum) shower head
Vacuum line: Dry pump gate valve throttle valve B
Gas line: MFC Air valve gas monitor gas cabinet gas bombe filter.
NEXSO NSC7000は、さまざまなエレクトロニクス用途に使用される高度なエッチングおよびアッシングプロセス装置です。表面のエッチングやアッシング処理を極めた精密な加工が可能です。このシステムは完全に自動化されており、高度なin-situ抵抗レベル測定とプロセスパラメータの自動制御を備えています。エッチングおよびアッシングパラメータは、Webインターフェイスから内部的にプログラムすることができ、ユーザーは特定のニーズに最も適した独自の設定を行うことができます。このユニットはまた、完全な機械監視を備えており、ツールパラメータとアクティビティ全体を遠隔監視できます。NSC7000は、フォトエッチング、レーザーパターニング、ディープリアクティブイオンエッチング(DRIE)など、あらゆる種類のエッチングおよびアッシング処理に使用できます。このアセットは、ウェーハ、シリコン、ガリウムなどのさまざまな基板にさまざまな化学物質を適用することを可能にします。NEXSO NSC7000には、プラタブルタンク、化学成膜用の電解液、エッチングおよびアッシングプロセス用の真空/背圧チャンバーなど、いくつかの主要部品が含まれています。NSC7000は、さまざまなエッチングおよびアッシング処理を幅広いエレクトロニクス用途に柔軟に使用できます。これには、半導体、PCB、厚膜回路、磁気コイルのエッチング、およびリソグラフィー抵抗、アルミナ、ガラスおよびその他の酸化抵抗材料のアッシングが含まれます。このモデルは、塩化水素、三フッ化塩素、フッ化炭化水素などの複数のプロセスガスを特徴としています。この装置は、エッチング、アッシング、および化学応用プロセス中に最高レベルの安全性と信頼性を確保するように設計されています。化学的に不活性なチタンタンクを備え、化学的劣化を防ぎ、プロセスパラメータを安全な動作温度内に保つ温度監視システムを備えています。NEXSO NSC7000は、さまざまな基板や材料のエッチングおよびアッシング工程に、安全で信頼性の高い化学物質の適用を可能にする高度なプロセスユニットです。フレキシブルでユーザーフレンドリーなプログラマブルインターフェイスにより、ユーザーは安全かつ正確に目的の結果を達成するために必要なツールを提供します。
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