中古 NEMST 2002S #293610013 を販売中

NEMST 2002Sは、多くの科学および産業分野で広く使用されている紫外線（UV）エッチャー/アッシャーです。この最先端のフォトリソグラフィ装置は、幅広い基板材料における複雑なパターンの精密エッチング用に設計されています。2002Sは、3次元エッチングのための4つのウェーハ容量とモーションアックスを提供し、エッチングの深さ、精度、再現性を極めてタイトに制御する優れたパターンを提供することができます。NEMST 2002Sは、紫外線ランプ、石英トッププレート、光学成形画像、ビームスプリッター、ビームトランスポータなど、さまざまなコンポーネントで構成されています。UVランプは必要な露光光を供給し、水晶トッププレートはエッチング中に露出生成された破片の可能性を低減します。光学系とビームスプリッターを形成する画像は、ウェーハマウントに光を導くために使用され、ビームトランスポータは正確な露出領域を保証します。2002Sは、前処理、エッチング、後処理のプロセスを介して動作します。前処理段階では、クォーツトッププレートを洗浄し、エッチング前にフォトレジストを塗布します。エッチングは、ビームスプリッタとビームトランスポーターによって制御され、一貫したエッチング深さを確保するために、ウエハのUVレーザー露出を介して行われます。最後に、後処理の手順は、レジストを開発するプロセスを含みます、化学除去、ストリッピングに抵抗。完成したレジストパターンは、さらに処理する準備ができています。NEMST 2002Sは、非常に高い精度と再現性で複雑なパターンをエッチングする機能を備え、非常に制御され、正確です。この機器は、マスク製造、OLED製造、薄膜トランジスタ、医療機器、太陽電池製造など、産業および科学的用途の広い範囲で使用されています。精度の向上、高い再現性、レーザー露出精度、幅広い用途での使用など、いくつかの技術的利点があるため、2002Sは多くの業界や研究所で非常に重要なデバイスと考えられています。