中古 NEMST 2002 #9244939 を販売中

NEMST 2002は、ウェーハ処理用に特別に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。最大8秒のプロセス時間、効率的で信頼性の高いシングルステージプロセス、最大生産歩留まりを備えた高いスループットを備えています。2002年は、優れたエッチング速度と粒子欠陥の低減を可能にする、真のシングルステージプロセスを動機付けます。その高度なプロセス制御装置は、一貫したパフォーマンスのためにプリセットされたパラメータを使用し、特定の材料にプロセス条件を調整する柔軟性を提供します。ヒーターは正確で一貫した温度のために温度制御され、正確なターゲットの繰り返しのための高精度の位置決めシステムです。メインチャンバーは最大12個のウェーハを収容できます。酸化から材料を保護するために、チャンバーはまた、不活性ガス、典型的には窒素またはアルゴンを利用します。ウェットエッチングソリューションやドライエッチングソリューションなど、さまざまなエッチング製剤で使用するためにカスタマイズ可能で、高速エッチング用の自動ポンピングユニットを備えています。均一性を確保するために、プロセスガスフローは比例バルブを使用して調整可能で制御可能であり、埋め込み熱電対はエッチングプロセス全体で重要な温度監視を保証します。NEMST 2002には、精密画像処理とデジタル画像処理も搭載されています。デジタルイメージング技術により、エッチング工程全体のウエハプロファイルやエンドポイント検出を高精度にモニタリングできます。ウエハ全体の温度を監視する超低温測定機により、正確なエンドポイント認識がさらに強化され、プロセスのエンドポイントが均一になります。2002年のユニークなデザインは、高度なエンジニアリング設計を使用して製造されています。部品は耐食性および化学的に抵抗力があり、単位は高性能および一貫性のための精密な測定と設計されています。軽量設計と高いプロセス速度と信頼性を兼ね備えたNEMST 2002は、ウェーハ処理に最適なオプションです。その人間工学はまた、利便性、移植性、およびユーザーフレンドリーな操作を可能にします。