中古 NAURA / AKRION / NORTH MICROELECTRONICS ELEDE 330 #293660507 を販売中
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NAURA/AKRION/NORTH MICROELECTRONICS ELEDE 330は、精密エッチングおよびアッシング用途向けに設計された先進的なエッチャー/アッシャー装置です。システムは、電動ドライブとエレベーターとプラテンの2つの部分で構成されています。エレベーターは10mm/secで移動するユニットの上部にウェーハを持ち上げ、プラテンは0。2umの解像度で高精度の電動ドライブによって駆動されます。トータルマシンフットプリントはわずか420 x 400mmで、多品種少量生産に最適です。NAURA ELEDE 330は、ユーザーフレンドリーでグラフィックタッチスクリーンインターフェイスを備えており、複雑なプロセスの効率的なプログラミングとプロセス監視を可能にします。このツールは、複数のガスレシピをサポートすることができ、ユーザーはエッチングとアッシングのプロセスを簡単に切り替えることができます。ネットワーク相互接続機能により、サードパーティ製システムに統合でき、シームレスな接続とプロセスのフィードバックデータを提供できます。AKRION ELEDE 330は、あらゆるタイプの基板に優れたエッチングとアッシング性能を提供するイオンソースアセンブリ（ISA）も誇っています。不活性な金属チャンバーは、アークやプラズマ漏れを最小限に抑えるように設計されており、あらゆる材料の均一なエッチングを可能にします。プラズマ源は、エッチング処理を微調整するために、電子と粒子の構成を変更するために、周波数と電圧調整を使用してさらに調整および最適化することができます。さらに、ELEDE 330は、マスフローコントローラを内蔵した自己完結型ガス供給アセットを備えており、エッチングやアッシング時に精密なプロセス制御が可能です。このモデルには、ソースの通電モニタとデジタルRF静電容量制御も含まれており、非常に安定したエッチング条件を保証します。NORTH MICROELECTRONICS ELEDE 330は、NAURAの優れたアフターサポートサービスと保証サービスに裏打ちされており、要求の厳しいエッチングおよびアッシングアプリケーションに信頼性の高い堅牢なソリューションを提供します。
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