中古 NANOPLAS DSB 6000 #293747090 を販売中

NANOPLAS DSB 6000は、半導体、MEMS、およびLED業界の精密で繊細な片面ファインパターニングプロセス用に設計されたエッチャー/アッシャーです。精度のために設計されたこのデバイスは、0。25umライン幅と5nmリピートサイズの高い動的精度を備えています。ナノプラスが開発した特許取得済みのDC光学機器を搭載し、波形ブレードとサポートベースの正確な位置決めを実現しています。堅牢なメンテナンスフリーのシステムは、6 「x6」固定、非rotatable作業基板プラットフォームを備えており、200mm x 100mmのアクティブなプロセス領域を提供し、大段の基板を処理することができます。シリコン、石英、半導体合金、サファイアなど様々な材料をエッチングすることができます。DSB 6000は、プロセスの柔軟性と堅牢性を考慮して設計されています。それに繊維結合された直接ダイオードレーザー（ダイオードレーザーの配列）が下の上の熱された区域の層の50um連続的な温度の均質化の層そして500 nmの深さの3層の上のヒーターとあります。エッチャー/アッシャーには、x-y-zモーターステージ、高度な自動スタッキング、4マスクアライメントユニット、自動/手動モーションコントロール、および簡単な操作のためのオートフォーカス制御も備えています。このデバイスには、40kHz最大繰返し速度、調整可能なパルスエネルギー、および事前構造プロファイルおよびカスタムフィルム温度制御マシンごとの速度を備えたパルス蒸着レーザーが装備されています。ユーザーフレンドリーな設計は人間工学に基づいたハンドルを備えており、簡単な操作を可能にし、LCDディスプレイはリアルタイム情報を提供し、NANOPLAS DSB 6000は強力な診断および診断制御アルゴリズムを組み込み、ツールを使いやすく維持します。アセットをさらに簡単にするために、簡単なセットアップと操作のためのコンピュータソフトウェアパッケージ、アッシャーの迅速な回転を可能にする自動基板ローディングモデル、簡単なプログラミングのためのPLC（プログラマブルロジックコントローラ）、簡単なセットアップと操作のための直感的なヒューマンマシンインタフェースが含まれています。DSB 6000は、精密な1面ファインパターニングプロセスを備えた生産環境での使用に最適な最先端のエッチャー/アッシャーです。それは信頼でき、正確な装置で、使いやすく、作動し、敏感なパターニングプロセスが精密に達成されることを保障します。