中古 MTJ P291 / P334 #9285840 を販売中

MTJ P291/ P334は、直径10インチ（25cm）までの基板に、極めて精密なマイクロエレクトロニクスエッチング、アッシング、マイクロマシニングを提供するように設計された高性能エッチングおよびアッシング機です。コンパクトで使いやすい自己完結型の機器で、大学、研究所、半導体、電子製造プロセスに最適です。P291/ P334は、1 µmほど浅いエッチングとアッシングが可能な専用のエッチング/アッシングシステムです。このマシンは、生産性を最適化し、一貫した高品質のエッチングとアッシングを保証するように設計された自動ロードロックマシンを備えたミクロンレベルの精密エッチング/アッシュ転送ユニットを採用しています。このマシンは、さまざまな化学プロセスや基材を処理できる高度なプロセス制御システムを備えており、ユーザーは各プロセスに最適なエッチングパラメータを選択することができます。これには、ポストプロセス計測およびその他のプロセス機能のレシピ設定をプログラムする機能が含まれます。MTJ P291/ P334は、KOH、 TMAH、 MUF、 SF6など、さまざまなエッチング化学物質を実行するように構成可能であり、また、Ar/O2とXeF2の両方のフローを可能にする統合ガスキャビネットを備えています。P291/ P334の他の機能には、調整可能なローダーと、基板の迅速かつ正確な配置と翻訳のための高度なモーションツールがあります。さらに、このマシンは統合された真空アセットを備えており、より高いスループットと改良された基板処理を可能にします。このモデルには、2つのサイド冷却コンプレッサー、2つの内蔵温度コントローラ、および最高のエッチング性能を実現する自動パラメータチューニングを備えたマルチチャンネル信号プロセッサも搭載しています。最後に、MTJ P291/ P334には特許取得済みの独立したドアメカニズムが装備されており、ドアを開けると断熱が可能です。絶縁されたドアは、エッチングおよびアッシングプロセス中のクロスコンタミネーションおよびサーマルショックの問題を防止します。さらに、圧力センサ、緊急遮断、直感的なヒューマンマシンインタフェース（HMI）などの高度な安全機能も搭載しており、操作と監視が容易です。