中古 MRC RIE-51 #293608747 を販売中
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MRC RIE-51は、電子試験、測定、および製造環境で使用するために設計されたエッチャー/アッシャーです。温度制御装置、エッチングと灰のフルレンジ、高いプロセス精度などの高度な機能を備えています。RIE-51はほとんどあらゆるタイプの基質材料との使用のために造られます。2圧力ガスで動作し、湿式と乾式の両方の材料で動作するため、基板の大部分のエッチングとアッシングに適しています。また、高解像度の温度制御システムを備えており、エッチング速度を調整し、高精度な結果を保証します。MRC RIE-51は、RFジェネレータ、電源、モーションステージなどの互換性のあるハードウェアの助けを借りて、より大きなユニット設定内で使用するように設計されています。適切なハードウェアと組み合わせて使用すると、TID (Total Ionizing Dose)の低レベルと高い梱包率で非常に正確な結果を得ることができます。エッチャー/アッシャーは、Crystallite、 Curtain、 Looping、 MaCAREEなど、エッチングとアッシャーサイクルの包括的な選択にも対応しています。さらに、ユーザーは自分の特定のサイクルを簡単にプログラムして保存し、繰り返し可能で一貫したプロセスを実現できます。セラミックス、複合材、積層材など、様々な金属、合金、先端材料のエッチングとアッシングが可能です。RIE-51は、ウェーハの製作やデバイス試験など、高精度で反復可能な性能を必要とするアプリケーションに理想的な選択肢です。堅牢なコントロールマシンとエッチングとアッシングサイクルの範囲を備えたこのデバイスは、優れた機能とパフォーマンスを兼ね備えています。
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