中古 MORY V-1500X #9132178 を販売中

MORY V-1500Xは、高性能半導体製造用に設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。このデバイスは「、コールドエッチング」プロセスを使用して、ウェーハ、チップ、インターポーザなどの基板のエッチング/アッシングの精度と精度を向上させます。このエッチャーには、アッシングプロセス中に最適な性能を保証する多段式の高解像度真空チャンバーが付属しています。このチャンバーは、潜在的な汚染物質を排除するために、アクティブな湿度制御で安定した環境を維持します。エッチング/アッシング化学物質の供給源は、保護ハウジングに囲まれたパルスプラズマトーチによって提供されます。トーチは、ファンシャワープレートと一体化したガスノズルを介して基板ウェーハに供給されるプラズマプルームを作成します。このシャワープレートは、ウェーハの表面全体にプルームを均一に分配するのに役立ちます。このプロセスは、圧力、ガスの流れ、パルス長、半導体エネルギー、ウェーハの回転速度など、さまざまなカスタマイズ可能なパラメータによって可能になります。エッチャーには、高解像度、高精度の光学イメージング装置も装備しています。このシステムは、リアルタイムでエッチング/アッシングプロセスの監視を容易にし、より高い精度と制御を可能にします。また、基板表面を検査し、アッシング前の均一性と精度を確保するために使用されます。安全性の面では、V-1500Xは厳格な工業規格内で動作するように設計されています。ウエハモニタリングユニットには、エッチング/アッシング中に発生する危険やイベントを正確に表示するトリプル冗長ユニットが装備されています。このデバイスは、問題が発生した場合に安全にプロセスを停止することができる自動フェイルオーバー機能も備えています。最後に、MORY V-1500Xはシンプルなユーザーインターフェイスを備えており、パラメータの簡単なカスタマイズと迅速なトラブルシューティングを可能にします。このエッチャー/アッシャーには、インテリジェント冷却機、リモートモニタリング、さらに優れたプロセス制御と監視を可能にする内蔵のパフォーマンスツールなど、いくつかの追加機能が付属しています。