中古 MORY DSV-3000 #9145025 を販売中

MORY DSV-3000は、エッチャー/アッシャーマシンであり、産業および実験室のアプリケーションに柔軟で正確なエッチングおよびアッシング機能を提供するように設計されています。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと自動化されたプロセスを備えているため、ユーザーはパラメーターを素早く簡単に調整し、特定のニーズに合わせて設定を調整できます。DSV-3000は、1。4mmのビームスポットサイズと0〜6kVのイオンエネルギー範囲で、優れたイオンビーム品質を提供する2つのイオンビーム源を備えています。これにより、高品質のエッチングとアッシングが保証されます。また、調整可能なビームチルトとビーム角度制御を備えており、ユーザーはそれに応じてエッチングとアッシングプロセスをカスタマイズすることができます。さらに、MORY DSV-3000には、幅広い基板材料をサポートする統合基板ステージが含まれています。これには、シリコン、ガラス、金属、セラミックス、ポリマーが含まれます。基板ステージにより、精度と再現性に優れた各種エッチング・アッシング操作が可能です。このユニットは、無人の操作と自動化を可能にするロボットおよびビジョンシステムとの完全な統合が含まれています。さらに、組込み制御システムは、多機能アライメント、整流研磨、プリエッチング洗浄、デバイス試験などのインテリジェントなプロセスを提供します。これにより、各エッチングまたはアッシングプロセスがユーザーの設計意図に正確に一致するように実行されます。このユニットはXYZモーションシステムを使用して、基板ステージとの微調整を可能にします。DSV-3000は、画像処理、ウェーハ検出、自動アライメントなどのさまざまなソフトウェアツールも提供しています。これらのツールは、仕事の生産と品質管理をはるかに効率的かつ経済的にします。直感的なタッチスクリーンインターフェイスはMORY DSV-3000で提供され、プロセスパラメータを簡単にナビゲートおよび調整できます。このユニットは、最も要求の厳しいエッチングおよびアッシング要件を満たすように設計されており、CEおよびRoHS（危険物質指令の制限）規制に完全に準拠しています。