中古 MODUTEK SPS 620 #9176760 を販売中

MODUTEK SPS 620は、高精度の性能と信頼性を提供するエッチャー/アッシャーであり、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に最適な機器です。この高度なエッチャー/アッシャーは、19インチのタッチスクリーンを備えており、強力でユーザーフレンドリーなソフトウェアに簡単にアクセスできます。このシステムには、高度なVactronicコントロールユニットも備えており、ユーザーに利用可能な最も正確なチャンバー温度制御を提供します。SPS 620にはデュアルチャンバー設計が採用されており、サンプルを1つのチャンバから他のチャンバに移動することなく、エッチングとアッシングの両方のプロセスを実行できます。この機械はまたエッチングおよびashingの同時操作を提供し、手動操作のための必要性を除去します。内部ウェーハキャリーツールは、位置精度2。5 μ mの正確なウェーハ位置決め±可能です。また、最大8インチウェーハに対応できる10 x 10チャンバー、厚さ10 μ mまでの基板エッチングが可能です。MODUTEK SPS 620は、産業用グレードのハードウェアとコンポーネントで設計されており、最も信頼性が高く耐久性の高いエッチングおよびアッシングシステムの1つです。その堅牢な設計により、最大500°Cのプロセス温度を可能にし、特許取得済みのダブルウォールエッチングチャンバー設計は、優れたレベルの熱保護と正確な温度制御を提供するのに役立ちます。このアセットには、完全に自動化されたウェーハハンドリングモデルと、内部のEビーム蒸発器、および精密なエッチングとアッシングのための統合されたガス混合装置も備えています。SPS 620は、緊急停止ボタン、過熱および過圧保護を備えた安全性を念頭に置いて設計されています。さらに、RS 232/485、イーサネット、USB通信ポートを備えたオープンアーキテクチャ設計により、既存のラボシステムに簡単に統合できます。高度な機能、正確な性能、信頼性の高い品質を組み合わせたMODUTEK SPS 620は、エッチングやアッシングアプリケーションに最適です。