中古 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC UV-600 #9386602 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
モジュラープロセステクノロジー/MPTC UV-600は、高度なMEMS、シリコン、III-Vデバイス製造の厳しいプロセス要件を満たすように設計されたエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、特定のアプリケーションの特定のニーズへの簡単なカスタマイズと統合を容易にするモジュラーアプローチで設計されています。MPTC UV-600は、材料の極めて精密なエッチングと70nmの最小線幅までのアッシングが可能です。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY UV-600のモジュール設計により、多くのエッチングアプリケーションでカスタマイズ可能な柔軟性が得られます。6インチまでのさまざまなウェーハサイズに対応できるプロセスチャンバーを備えており、カスタマイズ可能なプロセスレシピは最大108のレシピステップを使用して保存およびリコールできます。また、最先端の安全性と診断機能を備えています。UV-600は、MPTCの特許取得済みのMolecular Cascade Source （MCS）技術を特長としています。この技術は、エッチャー/アッシャーに、非常に安定で再現性の高い革新的なプラズマ源を提供します。MCS技術は、低コストの消耗品を使用し、メンテナンスフリーで、希ガスの消費量を10X削減します。MCS技術の利点は、コスト削減とプロセス能力の向上につながります。モジュラープロセステクノロジー/MPTC UV-600は、20種類のエッチングガスを使用した印象的なエッチング/アッシング機能も備えています。酸素ベースの種、C4F6、 Ar、 SF6、 NF3など、さまざまなエッチングとアッシングを行うことができます。エッチング手順は、ガス流量、電力、エッチング時間などのプロセスパラメータを設定することで、各アプリケーションに最適化できます。ユニークなエッチングチャンバー設計は、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）や高繰り返し加工などのニッチ市場で利用可能です。MPTC UV-600には直感的なユーザーインターフェイスがあり、熟練したエンジニアや初心者ユーザーに便利です。これは、統合されたLCDディスプレイに表示されるリアルタイムの温度および圧力監視システムを備えています。このマシンにはフェイルセーフシステムも装備されており、安全性と機器の寿命を延ばすのに役立ちます。要約すると、MODULAR PROCESS TECHNOLOGY UV-600は、高精度、再現性、カスタマイズ可能なエッチングおよびアッシング機能を提供するように設計されたエッチャー/アッシャーです。幅広いエッチングガス種、簡単にカスタマイズできるモジュラー設計、熟練した初心者にも安心できる直感的なユーザーインターフェイスを備えています。特許取得済みのMCS技術とリアルタイム温度および圧力モニタリングシステムを組み合わせることで、さまざまな材料の信頼性とコスト効率の高いエッチングとアッシングのための手ごわいリソースとなります。
まだレビューはありません