中古 MKS 660-072823-R200 #9164994 を販売中

MKS 660-072823-R200
ID: 9164994
RF Plasma generators For LAM Flex DS etcher.
MKS 660-072823-R200は、エッチング、アッシング、クリーニングの幅広いアプリケーションで優れた性能を提供できる多機能エッチャーおよびアッシャーです。この装置は、13Lの容量を持つ330mm x 300mm x 605mmのシングルチャンバープラテン室を備えています。このチャンバーは、ステンレス鋼から構成され、腐食および腐食関連の損傷に対する優れた耐性を提供するように設計されています。プラテンも耐食性があり、特殊な高性能アニーリングプロセスで製造されています。これらの機能は、優れたエッチングとアッシングの経験を作成するために組み合わせます。このシステムはまた、真空源と温度と圧力のフルレンジに達することができる制御を備えています。プラテン発煙を引き出し、エッチング材とアッシング材をそれぞれ最適に蒸発させるために使用されます。660-072823-R200には、いくつかの高度な運用機能も含まれています。これには、所望のエッチング、アッシング、クリーニングを正確に達成するためのパルスオーブンパラメータを調整する機能が含まれます。ユーザーインターフェイスにより、ユニットのパラメータを完全に制御することができ、処理の温度、圧力、持続時間を正確に制御するための調整を行うことができます。機械の優れたエッチングとアッシング機能に加えて、MKS 660-072823-R200はさまざまな安全システムを備えています。これには、過熱を防ぐためのグリコールと水冷外装、プラテンとチャンバーを高温暴露から保護するためのアンチバンプバウンス、圧力と温度の変動を制御するための特別な高圧バルブが含まれます。安全システムは、ツールの操作においてユーザーに安心を提供するように設計されています。660-072823-R200は最高レベルのエッチャーとアッシャーであり、ユーザーに幅広いエッチング、アッシング、クリーニングプロセスの信頼性の高いパフォーマンスを提供します。その大容量のチャンバー容量、高度なパルスオーブン制御、洗練された安全システムにより、精密で信頼性の高いエッチング、アッシング、クリーニングプロセスに最適です。
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