中古 MITSUBISHI Tamagawa #9085621 を販売中

MITSUBISHI Tamagawa
ID: 9085621
ウェーハサイズ: 12"
Final clean system, 12".
MITSUBISHI Tamagawaは、高精度、高スループット、最適な生産性を目指して設計された汎用性の高いエッチャーまたはアッシャーです。これは、自動または手動処理を可能にするユニークなデュアルアームメカニズムを備えています。このプロセスは高度に自動化され、操作が簡単で、各エッチングプロセスは単一の中央コントローラから管理されます。装置にはオンボードコンピュータとユーザーフレンドリーなソフトウェアが装備されており、プロセスの品質とタイミングが信頼性と再現性が確保されています。玉川は、ウェーハの開閉を正確に制御することができる特許取得済みの機能であるAuto Wafer Open and Close (AWOC)を搭載しています。システムはまた、摩耗や破損からユニットを保護し、最大限の機械寿命を確保する自動制御保護設定を備えています。このツールは、簡単なセットアップと操作を可能にするために、LCDディスプレイパネルとユーザーフレンドリーなメニューインターフェイスで高度な利便性を提供するように設計されています。MITSUBISHI Tamagawaは、高速で正確なエッチングとアッシングを可能にする高解像度レーザーと3Dスキャンヘッドを備えた強力なエッチングおよびアッシングツールです。このツールは、レーザビームスキャン、マグネトロンスパッタリング、プラズマエッチングなどの複数の技術を利用しています。また、タイトなプロセス制御、バルビング、ウェーハの開閉、およびチャック電極へのサンプルに現代的なシース技術を使用しています。高精度なエッチングと高解像度のエッチングを可能にすることを目的としています。このツールは、高度な温度制御アセットを使用して、温度管理が厳密に調整されていることを確認します。また、自動ガスパージング・再循環装置を採用し、汚染のない処理を実現しています。このシステムは、生産性を最大化するために、独立してまたは他のシステムと連携して操作することもできます。Tamagawaは、半導体やディスプレイ製造など、さまざまなエッチングやアッシング用途に最適です。信頼性が高く、効率的で、プロセスフローをサポートするように設計されています。三菱玉川は、エレクトロニクス製造、薄膜エレクトロニクス、マイクロエレクトロニクス、医療用途など、さまざまな業界に最適な選択肢です。
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