中古 METRON EXCALIBUR 200 #136431 を販売中

METRON EXCALIBUR 200
ID: 136431
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1991
System, 8", 1991 vintage.
METRON EXCALIBUR 200は、基板加工などの精密エッチング加工用に設計されたエッチャー/アッシャーです。この高性能システムは、HFまたはプラズマ、RIE、および高度なエッチング技術を組み合わせて、クリーンで正確かつ再現性のあるエッチング処理を提供します。EXCALIBUR 200には、特許取得済みのゲートドライブ技術が搭載されており、プラズマ源の優れた制御を提供し、より優れた、一貫した異方性エッチングを可能にします。このエッチャーにはカスタマイズ可能なプロセスが含まれており、複数の実行で最適なエッチング品質と再現性を保証します。二段ガスカバレッジは粒子制御を最大化し、酸化物や破片の蓄積を最小限に抑えます。完全なRF負荷検出機能により、ソース電力を正確に制御でき、プロセスパラメータを迅速かつ正確に変更できます。このシステムには、プロセスコントローラが含まれており、設定をプログラムして監視し、操作が簡単なタッチスクリーンインターフェイスを備えています。強力なソフトウェアは、複雑なエッチングプロファイルと異なる設定やプロセスのための複数のレシピを可能にします。METRON EXCALIBUR 200エッチャーは、さまざまなサプライヤーのエッチング材料と互換性があります。その精密な設定と微細なガス流量制御機能により、酸化物や破片を最小限に抑えた非常に繰り返し可能なエッチング処理が可能になります。これにより、エッチング結果の精度と歩留まりが向上し、回路基板が常に一貫した高品質の規格であることが保証されます。このエッチャーはまた、さまざまな種類のエッチングプロジェクトに適した幅広いプロセス能力を誇っています。その可変流量設定と調整可能なプロセス設定により、ユニークなアプリケーションの正確なパフォーマンスを実現します。要するに、EXCALIBUR 200は精密で信頼性の高い再現性のあるエッチングプロセスを提供する優れたエッチャーです。その幅広いプロセス設定と機能により、多数のアプリケーションに適しており、高度なゲートドライブとRF負荷センシング技術により、エッチング結果の精度と信頼性が向上します。
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