中古 MAXIS 300LAH #9409612 を販売中

MAXIS 300LAHは、シリカ、シリコン、ガラス、金属などのさまざまな材料の効果的な反応イオンエッチングおよびアッシングを行うように設計されたエッチャー/アッシャーです。装置は優秀なエッチングのプロフィールを達成するために設計され、競争力のある価格のプラットホームで均一で、信頼できる結果を提供します。300LAHは、各種基材やエッチング/アッシング用途に幅広い機能を備えています。最高使用圧力200mTorrの300mm石英窒化ホウ素（QBN）プロセスチャンバーを備えており、異なるエッチングおよびアッシングプロセスに適しています。プロセス圧力制御は、多段式線形粗さポンプと30mTorrの塩基圧力とのターボポンプの組み合わせによって達成されます。また、エッチソース、差動ポンプ、リモートセンシング、手動サンプルのロードも備えているため、幅広いアプリケーションに適しています。MAXIS 300LAHのエッチソースは、調整可能な水平方向と垂直方向を誇るデュアルターボ分子ポンプで、簡単な変換とエッチングされたパターン方向の最適化を可能にします。2kWのRF発電機を搭載し、最大2200Wの電力を供給することができ、500-VDC電源によって提供され、エッチングおよびアッシングパラメータの最大柔軟性を可能にします。300LAHはまた、高精度ダイヤフラムのフロントロードリフトにより、基板とウェーハを安全な環境でロードすることができます。チルトおよびターンチャンバー回転ユニットも大きな利点であり、ウェーハを直線および均一なエッチングに便利に操作できます。ユーザーの安全な環境を確保するために、MAXIS 300LAHには緊急ボタンが内蔵されており、直ちにチャンバーを閉じ、トリガーされたときに電源をシャットダウンします。このマシンはまた、直感的なタッチスクリーンディスプレイを介してアクセス可能な完全なインターフェイスから恩恵を受け、ユーザーはプロセスの各ステップを監督し、正確に制御することができます。全体的300LAHは、ウェーハ加工、電子部品、セラミック圧力板、さらにはオプトエレクトロニクスデバイスなど、さまざまな用途に適した効率的で費用対効果の高いエッチング/アッシングツールです。その包括的な機能と直感的なインターフェイスは、あらゆるエッチング/アッシング要件に最適なツールです。