中古 MAXIS 300LAH #9258012 を販売中

MAXIS 300LAHは、ハイスループット用途向けに設計された高度なエッチングおよびアッシング装置です。300ナノメートルのガリウムイオン源と高速パルス制御を備え、優れたエッチングとアッシングの結果を提供します。300LAHは、コンパクトな4軸ロボットコントローラ、自動ウェーハローダー、マルチモードウェーハハンドラ、300ナノメートルガイオン源で構成されています。ウェーハハンドリングユニットは、1時間あたり最大500ウェーハのスループット速度で、2つのウェーハの同時エッチングとアッシングを可能にします。オートローダーにより、一度に最大15個のウェーハを素早くロードできます。マルチモードウェーハハンドラは、手動設定を追加することなく、さまざまなウェーハパターンの処理を可能にします。300ナノメートルガイオン源は、高品質のエッチングとアッシングの結果を生成するように設計されています。イオン源には高温・高圧ジェットスキマーを搭載し、均一な高束力出力を実現しています。また、ウエハ表面を貫通する高エネルギーイオンのビームを生成する独自の電子インパクトエミッタを備えており、エッチングとアッシングの結果が改善されています。さらに、ビームの生産はさまざまな結果のための異なった表面効果を作り出すために調節することができます。高度なオートフォーカスマシンは、プロセスの均一性と精度を向上させるのに役立ちます。このツールは、ビームの形状と方向を正確に制御するための段階から焦点までの平面ギャップを自己調整し、品質のエッチングとアッシングプロセスに必要な精度でイオンがウェーハに当たるようにします。MAXIS 300LAHは、イオンチャンバーのパージ、資産診断、ビームおよびウェーハの安全フィードバックシステム、アラームモデルなどの優れた安全機能を備えています。これらのすべての機能は、ユーザーに安全な環境を提供することにより、安全で信頼性の高い操作を可能にします。結論として、300LAHはハイスループット用途向けに設計された強力な多機能エッチャーおよびアッシャー装置です。300ナノメートルのガリウムイオン源、オートフォーカスシステム、高度な安全機能により、効率的で正確なエッチングとアッシング処理が可能です。このユニットは、大規模な生産および研究目的に最適です。