中古 MAXIS 300LA #9206237 を販売中

MAXIS 300LAは、研究および産業用途向けに設計されたデュラエッチングおよびアッシャー装置です。金属、セラミックス、ポリマー、半導体基板など様々な材料のパターンを形成するために使用される汎用性の高いツールです。このシステムは、さまざまなアプリケーションでエッチングとアッシャー材料に安全で正確で信頼性の高い方法を提供します。プラズマ源を用いて金属イオンを材料表面に導入することで、300LAの作業を行います。プラズマによって生成される強い電場と高温により、イオンが材料の表面に埋め込まれ、所望のパターンが形成されます。このユニットは、浅く複雑なエッチングから深い高品質のパターンまで、幅広い効果を生み出すことができます。MAXIS 300LAは、0。3 m2 （3平方フィート）のエッチングステーションで、厚さ19 mm （3/4インチ）のステンレススチールプロセスチャンバーと、ユーザーがマシンのソフトウェアと対話できるインターフェースパネルを備えています。このチャンバーには、Eビームと誘導結合プラズマ（ICP）の両方のソースが装備されており、エッチングとアッシングの両方のプロセスを可能にします。このツールは、電力、時間、温度などの複数のパラメータを制御することができます。また、自動ロード/アンロード機構や自動レシピ管理などの機能も備えています。300LA資産を使用する場合、安全性が最も重要です。このモデルは、ユーザーがプラズマに接触するのを防ぐだけでなく、プロセスからの有害な排出を減らすために設計されています。ULに準拠しており、最大1000 Wまで連続動作でき、最大1時間あたり1400W。MAXIS 300LAは、緊急停止スイッチと過熱保護装置を備えており、安全性を確保しています。300LAは、強力で汎用性の高いエッチングおよびアッシング装置であり、幅広い用途に適しています。研究、工業生産、教育目的に使用されており、複雑なパターンを迅速かつ安全に作成するための効率的で信頼性の高い方法を提供します。