中古 MAXIS 300LA #293636259 を販売中

MAXIS 300LAエッチャー/アッシャーは、半導体業界で使用される高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。300LAは、業界をリードするプロセスサイクルを提供するように設計されており、ユーザーはサブミクロンエッチングとアッシング要件を達成できます。優れた精度と再現性でエッチングとアッシングが可能です。MAXIS 300LAは、ステンレス製の高度な化学チャンバーを備えており、精密な温度制御のために統合された発熱体を備えています。これにより、外部ガスタンクを排除し、最大のプロセス安定性を実現する密閉チャンバーを提供します。統合された発熱体は500°Cまで温度の範囲のために適しています。300LAはまた、統合された真空ポンプ装置と圧力制御システムを備えています。真空ユニットは、10-9 torrの真空レベルに到達することができます。圧力制御機は非常に正確で、エッチングおよびアッシング工程中の圧力を正確に制御できます。これにより、プロセスの優れた再現性が保証されます。チャンバーに加えて、MAXIS 300LAは4つのオプションのカセットツールキャリアを提供します。これらのキャリアは、さまざまなウェーハや基板を保持するように設計されています。300LAは、ユーザーが選択可能なプログラミングオプションも装備されており、回転度、パワーレベル、反応時間などを正確に制御できます。MAXIS 300LAエッチャー/アッシャーは、信頼性と一貫した結果を提供することができます。高度な技術と堅牢な設計により、半導体アプリケーションに精密なエッチングとアッシングを必要とするユーザーに理想的なソリューションを提供します。