中古 MAXIS 300LA #293586670 を販売中
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MAXIS 300LAは、生産、研究、製品開発のために特別に設計されたエッチング装置です。直径300mmまでの標準半導体ウェーハを加工できる水平エチャントです。このシステムは、自動負荷ポート、メインエッチングキャビネット、排ガスユニット、補助スプリッタ/ミキサ装置、およびサービス監視と直感的なオペレータ制御の両方のオプションを備えたLCDを備えています。オートロードポートは、SC型（球状）ウェハの取り扱いを管理するための2つの軸を備えた、使いやすいロボット型トランスポータです。また、許容できないウェーハのミスアライメントの可能性を最小限に抑え、生産効率を向上させ、非接触ウェーハ転送を容易にします。300LAのメインキャビネットは、真空絶縁チャンバー、静圧コントローラ、熱電対圧力コントローラ、フロースイッチ圧力コントローラ、ガスモニターで構成されています。さらに、チャンバーの耐食金属パネルは、外部環境との通信を排除するように設計されています。このキャビネットは正確なエッチングのための圧力、温度およびガスの流量を制御するのを助けます。排ガス装置は、エッチングチャンバーから排出されたエッチング副産物をMAXIS 300LAから遠ざけるために使用されます。排気板と4つのポンプを備えており、生成された蒸気の安全な避難を保証します。300LAには、補助スプリッタ/ミキサー装置、バルブアレイ、温度制御、フロー制御も含まれます。これらのデバイスは、エッチングチャンバー内で最大2つの前駆ガスを正確に混合することで、より均一なエッチング結果を得ることができます。最後に、サービス監視オプションと直感的なオペレータ制御の両方を備えたLCDディスプレイは、包括的な機械設定、プロセス制御、キューイングツールのメンテナンスを可能にします。この機能により、オペレータの労力を最小限に抑えて最大限のウェーハ生産が保証されます。結論として、MAXIS 300LAエッチング資産は、半導体ウェーハの製造、研究、開発のための信頼性が高く、汎用性が高く、強力なツールです。その自動負荷港は容易で、正確なウェーハの処理を保障します、腐食防止の金属パネルは外の環境とのコミュニケーションを保障しません、そして排気ガスモデルは発生した蒸気の安全な避難を保障します。その付随するスプリッタ/ミキサ装置、バルブアレイ、温度およびガスの流れ制御、およびサービス監視および直感的なオペレータ制御の両方を備えたLCDは、オペレータからの最小限の労力で一貫した品質と最大のウェーハ生産を保証します。
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