中古 MAXIS 300L #9216760 を販売中

MAXIS 300Lは、高解像度のマイクロコンポーネントの製造のために設計された高度なサーマルエッチャーおよびアッシャーです。材料の沈着、エッチング、アッシングに幅広い機能を提供する成熟したプラットフォームです。MAXIS 300 Lは、カスタムデザインのガス入口およびガス分配システムを備えた堅牢で自動化された装置を備えています。残留汚染を最小限に抑え、一貫性のあるエッチングとアッシングに均一なガス流量を提供するように設計されています。このユニットは、幅広いガス、基板、およびアプリケーション圧力に対応できます。300Lは、柔軟なガスフロー構成を備えた高度なリアクティブイオンエッチング（RIE）モジュールを備えています。RIEモジュールは、ウェットエッチング、ICPエッチング、FIBエッチング、PECVDエッチングなど、さまざまなエッチング化学物質をサポートしています。RIEモジュールは密閉されたチャンバーに囲まれており、高精度の噴霧装置、精密なガス噴射装置、およびデジタル信号処理ツールが装備されています。これにより、パワーや流量などのエッチングパラメータを厳密に制御し、均一なエッチングとパターン定義の強化を実現します。300Lはまた、柔軟な基板ローディングとハンドリング資産を備えています。ガラス、石英、セラミック材料など幅広い基板に対応しています。基板ローディングとアライメント時の精度を確保する高解像度の可動ステージを備えています。装置に処理の間に過熱することを防ぐ高温、低圧冷却の機能があります。MAXIS 300Lには、高レベルの封じ込めエンクロージャを備えた高度なアッシングシステムも含まれています。これは、濡れたプロセスとプラズマのアッシングプロセスの両方をサポートします。加工温度、圧力、化学薬品が高い幅広い材料に対応できます。高度なオートメーションユニットは、迅速かつ一貫したアッシングプロセスを保証します。MAXIS 300 Lは、さまざまなイメージングおよび計測システムと互換性があり、設計された機能のモニタリングとインプロセステストが可能です。このマシンは、さまざまなアプリケーションの正確なカスタマイズと最適化を可能にする詳細な診断機能を備えています。その他の機能には、カスタマイズ可能なガス管理とソフトウェア制御の自動ガスシャットオフが含まれます。300Lは、高解像度のマイクロコンポーネントの製造および修正に理想的なプラットフォームです。堅牢なパフォーマンス、柔軟なプロセス制御、信頼性の高い操作を提供します。