中古 MAXIS 300L #293586674 を販売中
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MAXIS 300Lは、金属、プラスチック、セラミックス、シリコンなど、さまざまな材料のディープエッチングおよびアッシング用に設計されたエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、HF （Hydrogen Fluoride）とMp （Metal Plasma）という2つのエッチング技術を組み合わせて、1つのチャンバーで深い均一なエッチングを実現します。MAXIS 300 Lは、エミッタとレシーバを統合したステンレス製の15インチ正方形のチャンバーを備えており、4チャンネルのエッチング/アッシングを完全に可能にします。ウラン（U2O2）と塩素-ヘキサフルオリド（CF6）の独自のプロセスガスは、エッチング効果を強化し、チャンバーに直接注入され、全体に均一なプロセスガス分布を確保します。このエッチャー/アッシャーは、サンプル取り扱いのために、取り外し可能な3つと固定された6つのクォーツトレイを収容します。サンプルを石英トレイに積み込み、トランスファーシャトルと呼ばれる機構でチャンバーに移すことができます。このシャトルは、エッチャー/アッシャーから他の研究所にサンプルトレイを輸送し、さらなる処理を行うためにも使用されます。300Lには、自動シャットダウンと緊急停止（EN）ボタンを含む、内蔵の安全システムが装備されています。さらに、過圧を防ぎ、エッチャー/アッシャーの安全な動作を保証するように設計されています。300Lはフルマニュアルとセミオートの2つのオペレーターモードを備えた完全自動化されたエッチャーで、ステップバイステップのウェハスキャンやパターン比較機能など、幅広いプロセス監視ツールを提供します。また、3次元でデータをグラフィカルに表示するための3Dビュー機能が付属しており、ユーザーはプロセスの結果を見ることができます。このシステムには、複数のチャンバの同期動作を可能にするプログラマブルロジック制御（PLC）ボードと、ジョブ実行に必要な各ステップのインタラクティブメニューとステップバイステップの説明を提供するユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されています。さらに、インテリジェントな運動解析ソフトウェア（IMAS）により、速度、圧力、プロセス時間などのエッチングパラメータを迅速かつ簡単にキャリブレーションできます。このソフトウェアを使用すると、ユーザーは遠隔地からエッチング処理を制御することもできます。MAXIS 300Lは、さまざまな材料のディープエッチングとアッシングに最適なツールです。デュアルエッチング技術と特殊設計により、幅広い素材で高精度なエッチングとアッシングに最適です。信頼性と再現性に優れた性能を備え、安全性の向上とプロセス制御の向上を実現し、ハイエンド用途に最適なエッチャー/アッシャーです。
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