中古 MATTSON Suprema #9358706 を販売中

MATTSON Supremaは、ウェーハ加工プロセスにおけるさまざまな用途向けに設計された、信頼性と耐久性に優れた高精度エッチャー/アッシャーです。半導体業界の厳しい要件を満たすために、優れた温度均一性と最適な臨界寸法制御を提供するように設計されています。この装置には、偏光プラズマ源と石英チャンバーが組み込まれており、エッチング速度の均一性とプロファイル制御を変更および改善します。設計機能には、高電流性能、プログラム可能な電流ステップ、および高度なエッチング結果を得るための高真空システムも含まれます。Supremaは、ジョイスティックコントローラを備えた業界標準のユーザーインターフェイス制御を備えており、操作とモジュールの選択が簡単です。プロセスガスは多量流量計で供給され、精密なエッチング性能のために制御されます。エッチャーには2段階の粒子濾過ユニットがあり、プロセスの再現性に優れ、エッチング基板の汚染を低減します。この機械は、六フッ化硫黄、SF6、塩素などのさまざまなガスと互換性があり、アクティブ変位ポンプ、自動レシピローディング、サンプル回転ツールなどの高度なプロセス制御機能を備えています。MATTSON Supremaは、さまざまな基板の効率的で信頼性の高いエッチングを容易にします。単一または複数のウェーハを一度にエッチングするパワーと機能を備えており、優れたエッチング速度の均一性、歩留まりの向上、プロセスの安定性の向上を実現します。2段階の粒子濾過ツールは、最適なエッチング安定性と信頼性の高い結果を保証します。また、連続フロー監視、オンライン分析、自動チューニング、レシピストレージも備えています。Supremaはエッチング性能の基準を定義しています。高品質の部品とモジュール設計を組み合わせ、半導体業界の要求に応えます。エッチャーの温度均一性は、精密な臨界寸法制御に優れていますが、高電流性能とプログラム可能な電流ステップはエッチング速度の均一性に貢献します。信頼できる洗浄モデルは、エッチング基板の汚染を低減するのに役立ちます。ユーザーフレンドリーな制御、自動レシピローディング、サンプル回転ツールにより、ウェーハ製造プロセスのさまざまなアプリケーションに最適です。