中古 MATTSON Suprema #182681 を販売中

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ID: 182681
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
Resist ashing system, 12" PM1: Double Wafer Ashing PM2: Double Wafer Ashing 2008 vintage.
MATTSON Supremaは、さまざまな表面に高解像度の構造、回路、パターンを作成するために使用されるエッチャー/アッシャーです。それは工学、装置製作、回路および他のマイクロ表面処理で広く利用されています。この機械は広範囲の特徴および使用するために多用性がある材料および基質の広い範囲を提供します。Supremaには、さまざまな材料やプロセスに対応したエッチングオプションがたくさんあります。レーザー、ヘリウムネオンレーザー、二酸化炭素レーザー、イオンビーム、およびArFレーザー、ならびに反応イオンエッチングおよび反応イオンミリングを含む6つの外部取り付けオプションが含まれています。これらのプロセスは、用途に応じて、鉄と非鉄の両方の材料をエッチングするために使用することができます。これは、エッチャーのより長い耐用年数を確保するために、最小の熱予算で並列処理アーキテクチャを持っています。MATTSON Supremaには無線周波数シールドの包括的なシステムがあり、ユーザーはさまざまな高周波コンポーネントを操作できます。プロセス中に使用されるガスやその他の材料は、さまざまな環境センサーと多点処理アーキテクチャを使用して正確に制御されます。内蔵の自動検出システムにより、プロセスのリモート監視とデータロギングが可能です。独自のSuprema RFソースを使用して、あらゆる種類のフィーチャーサイズ、向き、制御で導電面にパターンや形状をエッチングすることができます。プロセスのソースは、可能な限り最良の結果を得るために、最適化されたエッチング深さ、深さ制御、および時間のために構成することができます。機械のさまざまなオプションと機能により、実験室や生産レベルの環境での使用に最適です。最小限のトレーニングと知識の要件で、使いやすく、維持することを目的としています。ソフトウェアインターフェイスは直感的に設計されていますが、内部照明システムは操作中にエッチングされた表面の可視性を保証します。MATTSON Supremaは、精度、精度、再現性の点で高度なソリューションです。幅広いニーズと好みに合わせてカスタマイズされた、信頼性の高い効率的なエッチャー/アッシャーです。
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