中古 MATTSON Suprema IM #9379786 を販売中
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MATTSON Suprema IMは、MATTSON Co。、 Ltd。が開発した高度なデジタルエッチャー/アッシャーです。航空宇宙、医療、半導体製造など、さまざまな用途に使用されています。Suprema IMは、シリコンウェーハ、ガラス基板などの繊細な半導体素子のエッチングとアッシングの両方に使用できます。MATTSON Suprema IMは、正確なプロセス制御を可能にする信頼性の高い精密な制御システムを備えています。圧力、温度、マスキングなど、さまざまな方法とパラメータを使用してエッチングと灰を作ることができます。Suprema IMによって使用されるエッチング剤および灰の解決はさまざまな材料の使用のためにEPAによって承認され、安全です。MATTSON Suprema IMには2セットのエッチングとアッシングガンが付属しており、低圧または高圧のいずれかのプロセスを選択できます。各ガンには、必要なプロセスパラメータ、セットポイント、およびプロセスステータスが表示されます。ユーザーは、アプリケーションに応じてエッチングとアッシングのパラメータをカスタマイズできます。Suprema IMは、緊急停止ボタン、安全ロック、アラームシステムなど、多くの安全機能も備えています。エッチングおよびアッシング操作は完全に自動化され、監視され、最大限の効率と安全性を実現します。また、自動ノズル洗浄システムと過熱動作を防止する温度安全スイッチを備えています。MATTSON Suprema IMは、MATTSON Co。、 Ltd。が提供する高度なデジタルエッチャー/アッシャーです。航空宇宙、医療、半導体製造など、さまざまな用途に使用されています。精密な制御、カスタマイズ可能なエッチングおよびアッシングパラメータ、および多くの安全機能など、さまざまな機能を備えています。Suprema IMが使用するエッチングおよびアッシングのソリューションは、EPAが承認されており、さまざまな材料で安全に使用できるため、敏感な材料に理想的なエッチャー/アッシャーです。
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