中古 MATTSON Suprema IM #9262053 を販売中

MATTSON Suprema IMは、重要かつ複雑な半導体デバイスの製造に最適な高度なエッチャー/アッシャーです。優れたパフォーマンス、高度なプロセス制御、費用対効果、優れた拡張性を備えています。このエッチャー/アッシャーは、低コストで最大のプロセス制御と再現性を提供するように設計されています。この高度なエッチャー/アッシャーは、競争力の高いプロセス・スループット、製品品質、およびプロセス・スケーラビリティを提供します。Suprema IMは高解像度のイメージングを備えており、最小フィーチャーサイズは0.25µm、最小ライン幅は0.2µmです。また、フィールドプログラマブルゲートアレイ（FPGA）も備えているため、エッチャー/アッシャーは将来のアプリケーションに進化し、適応することができます。MATTSON Suprema IMには、リアクティブイオンエッチング（RIE）、等方性エッチング、化学蒸気エッチング（CVAE）、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）など、幅広いエッチャーおよびガスプロセスがあります。このエッチャー/アッシャーは、高い仕様の複数のガス制御オプション、高解像度イメージング、および超精密マッチングを備えています。柔軟性と拡張性が強化されているため、クリーンルームからアベーション環境まで、さまざまなプロセスモジュールでエッチャー/アッシャーを使用できます。Suprema IMは独自のチャンバー設計により、エッチャー/アッシャーからのウェーハの積み下ろしが容易になり、プロセス時間が短縮され、偶発的な汚染のリスクが低減されます。さらに、このエッチャー/アッシャーは、均一なエッチングとプロセス制御を保証するための高度なソフトウェアを持っています。MATTSON Suprema IMは、幅広い用途において、再現性と再現性に優れたプロセス制御精度を提供します。金属、酸化物、窒化物、およびケイ化物を含む複数の材料を最小限の資源で同時にエッチングする柔軟性を提供します。この高度なエッチャー/アッシャーは、ハイエンドメモリ、ロジック、マイクロプロセッサ、およびオプトエレクトロニクスデバイスのアプリケーションに適しています。Suprema IMは費用対効果が高く、プロセス制御とデバイス製造の効率を最大限に高めます。このエッチャー/アッシャーを使用することで、ダウンタイムを削減し、複雑なプロセスを実行する際にユーザーに柔軟性を提供します。高性能、柔軟性、拡張性を兼ね備えたMATTSON Suprema IMは、高度な半導体デバイス製造に最適なソリューションです。