中古 MATTSON Suprema IM #9257461 を販売中

MATTSON Suprema IMは半導体産業のために設計されている高度のエッチングおよびashing機械です。Suprema IMは、1つのバッチで数百個のウェーハを処理できるため、大量生産のニーズに最適です。スループットが高く、所有コストが低く、市場投入までの時間が短くなります。MATTSON Suprema IMは、高度なプロセス機能と高速スループットレートを提供します。低圧、冷却されたエッチングプロセスで動作し、さまざまな資本と温度で幅広い化学物質と動的に結合します。これにより、エッチングやアッシングの均一性が向上し、欠陥レベルが低くなります。また、高度な温度制御を備えているため、エッチングとエッチングの深さを最適化して細かいパターニングを行うことができます。1時間あたり最大80個のウェーハのスケーラブルなスループットを備え、あらゆるサイクルで正確なエッチング深度を確保する自動レベリング機能を搭載しています。Suprema IMは堅牢な構造で設計されているため、耐久性と信頼性が高くなります。ベースシステム、エッチングおよびアッシングシステム、プロセスレシピモジュール、エンクロージャ、ベースヒーターなどの周辺機器パッケージが付属しています。また、他のMATTSONプロセス検査およびモニタリングシステムと統合することで、高い歩留まりと高い歩留まり欠陥を低減できます。ARMPAXウェーハハンドリングシステムと互換性のあるものを含む、ほとんどの業界標準のウェーハデマウントおよびフィードシステムと互換性があります。MATTSON Suprema IMは非常に使いやすいように設計されています。プロセス条件を調整し、ジョブを管理するための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が付属しています。また、輸送と取り扱いが容易で、高度な故障検出と回復機能も備えています。さらに、プロセス監視システムはリアルタイムの分析とアラートを提供し、迅速な是正措置を提供します。全体として、Suprema IMは半導体産業に合わせた高度なエッチャーとアッシャーです。優れたプロセス機能、高速スループットレート、堅牢な構築、直感的なユーザーインターフェイス、高度なフォルト検出およびリカバリ機能を提供します。そのため、大量生産環境に最適です。